技术文章
精密电子部品用二流体喷嘴AM6S-ISV
日本ATOMAX精密电子部品用二流体喷嘴AM6S-ISV
業種別使用例【半導体・電子部品製造】
半導体製造分野におけるアトマックスノズルの使用例
精密コーティング
少量の液を精密に微粒化噴霧可能なため、半導体や電子部品製造工程などでスプレイ塗布による薄膜形成が可能です。
スプレイコーティングは制御が簡単であり機器構成が他の塗布システムに比較してシンプル。厚塗りから薄膜でも、ひとつのノズルで条件範囲の幅が広いところが特徴です。
精密機器の洗浄作業
粒度分布がシャープなために、精度が要求する精密洗浄に適しております。アトマックスノズルは、微粒化に必要な圧縮気体の流量も従来ノズルに比較して少ないため低インパクト、噴射流速も穏やかです。
特異な液剤を使用したコーティング作業
主要構成部品が２部品。とてもシンプルな部品構成のため標準ノズル材質はSUS316Lですが、使用する環境に合わせた材質での製作も可能です。また、接液部にはＯリングの使用はありません。
微細粒子を用いた処理作業
固形分を含んだスラリー液の連続噴射が容易にできます。スプレイで微粒化を得るためには、小さなオリフィスから噴射することが定説ですが、アトマックスノズルは、大口径で微粒化噴射が可能です。
アトマックスノズル AM型
アトマックスノズルAM型は、極めて少ない液剤流量を精密に噴霧し、平均粒子径5μm程度の微粒子を得ることができます。非常に小型なノズルで、20〜750ワットのエアーコンプレッサーで運転が可能です。
主な使用用途として、半導体ウェハへの精密スプレイ･電子部品・機能部品材料の製造過程においての極少量の噴射・散布、コーティングが挙げられます
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