日本精密陶瓷株式会社氧化锆（ZrO2）

氧化锆（ZrO₂）

我司的氧化锆(ZrO₂）是加入了3mol%Y₂O₃的部分稳定氧化锆。
材料颗粒直径小，可进行高精度加工。

• 常温机械强度
• 常温断裂韧性
• 耐磨耗性
• 隔热性
• 电绝缘性
• 近似金属的热膨胀

主要用途

• 模具・冶工具（各种模具、精密定位治具、绝缘治具）
• 粉碎机部件（分级机、气流式粉碎机、珠磨机）
• 工业用刀具（工业用切刀、分条机、平压辊）
• 光连接器部件（密封圈、套筒、V型槽夹具）
• 特殊弹簧（盘簧、板簧）
• 消费类产品（小型绝缘螺丝刀、陶瓷刀、切片器）

特点

氧化锆是一种在常温下机械强度高、断裂韧性高的材料。我司的氧化锆(ZrO₂）是加入了3mol%Y₂O₃的部分稳定氧化锆（PSZ）。
因PSZ的材料颗粒直径小，可完成高精度加工，在模具等精密加工零部件领域的应用正在扩大。
此外，也可用于工业刀具、光连接器部品以及粉碎设备的介质。
利用PSZ的高断裂韧性可制成特殊弹簧，还被广泛用于家用陶瓷刀、切片器等部件。

氧化锆

热膨胀系数为RT～200℃时的测量数据。

氧化铝（Al₂O₃）

氧化铝（Al₂O₃）是精密陶瓷中常用的材料。我司供应纯度为99.5%和99.9%的产品。

• 电绝缘性
• 耐磨耗性
• 耐热性
• 耐腐蚀性
• 耐等离子性

主要用途

• 半导体制造设备部品（腔体部件、绝缘法兰盘、蚀刻设备部件、晶圆夹盘）
• 粉碎机部件（分级机、气流式粉碎机、珠磨机）
• 一般产业用部件（激光加工机喷嘴、转轴、轴承）
• 高精度用，精密用，耐热用冶工具（定位治具、装配夹具）
• 耐磨耗部件（拉丝机导向辊、钢丝通道、导轨）
• 电绝缘部件（绝缘子、垫片、衬套）

特点

氧化铝是白色或乳白色的陶瓷，利用其优异的电绝缘性能，早期开始即应用在电子部品上，使用量较多，是精密陶瓷中成本低的材质。
我司供应纯度为99.5%和99.9%的高纯度产品。高纯度类型氧化铝的机械强度高、耐腐蚀性优异，可生产大型产品。
此外，由于其具有优异的耐等离子特性，也可用于ＣＶＤ设备或蚀刻设备的部件。

氧化铝

碳化硅（SiC）

碳化硅（SiC）是我司擅长的材料。拥有大型真空炉，可生产1m见方的产品。

• 高温机械强度
• 耐磨耗性
• 高热传导性
• 耐腐蚀性

主要用途

• 滑动部件（机械密封、化工泵轴承、轴）
• 粉碎机部件（分级机、气流粉碎机、砂磨机）
• 半导体制造设备部件（XY平台、MOCVD托盘、聚焦环、晶圆夹盘）
• 成型机部件（相机镜头成型机部件）
• 耐热部件（燃烧器喷嘴、高温试验机部件、熔融金属用坩埚）
• 耐磨部件（喷砂机喷嘴、喷丸机抛丸机叶片、埋地管道保护板、钓具导向环）

特点

碳化硅是一种黑色陶瓷，和其他的精密陶瓷相比，在高温环境（1000℃以上）中机械强度降低幅度小、耐磨耗性高。
因其强共价键，在各种精密陶瓷材料中硬度高、耐腐蚀性优异、在液体中的滑动特性良好。
利用这些特点，使用在机械密封、化工泵轴承等方面。此外，也可用于半导体生产设备的晶圆叉等。

碳化硅