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氧气表MS-500日本toray东丽氧气分析仪简介

氧气表MS-500

MS-500

  • 最多可以同时测量8个点
  • 可以显示从ppm级到100%的多种浓度。
  • 非常适合安装在半导体制造设备,真空设备等上。
  • 传感器为直接插入型(用于真空的NW法兰16/25/40)
  • 特殊涂层应用于高度耐用的传感器,以进一步提高耐用性。

MS-500设备规格

测量原理 氧化锆浓缩电池供电
形状 分体式(转换器:壁挂式,传感器:直接插入式)
显示方式 4位数字显示(浓度显示)
测量范围 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积%氧气2 10 -20?10 -0大气压
自动范围
重复性 在±0.5%FS 0-1%范围内或更高
±1%FS以下或≤± 
0.1ppm的较大范围内0-1%小于0-1ppm,atm范围超出了保证的浓度范围
测量点数 1-8
样气条件 压力 10 -3至200 KPa(压力)
流量 0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然扩散状态的测量)
湿度 露点低于环境温度
温度 0-100℃
其他 不包含腐蚀性气体(基于氟的气体,基于氯的气体,基于硫的气体等),包含有机硅的气体,可燃成分(包括气体),油和水。
比较气 大气层
记录仪输出 仅变速箱输出
变速箱输出 RS-232C
报警输出 没有
热身时间 6分钟以内
尺寸 MS-500(控制器) 92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)
MS-510(转换器) 100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)
传感器单元 SD16NW 全长100mm(感应部分Φ11×39,主体部分Φ40×51)
SD25NW 全长100mm(感应部分Φ11×42,主体部分Φ40×48)
SD40NW 全长100mm(感应部分Φ11×41,主体部分Φ40×49)
大量的 MS-500(控制器) 约0.6Kg
MS-510(传感器) 约0.5kg
传感器单元 SD16NW 约0.2Kg
SD25NW 约0.2Kg
SD40NW 约0.35Kg
外部连接 真空法兰之一(NW16、25、40)
使用电源 24VDC±10%

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