技术文章
高照度光源照明装置灯的常规类型
1. 185LE
2.FY-18
高輝度ハロゲン光源装置
高輝度ハロゲン光源装置は、半導体ウエハーおよび液晶基板の加工途中で最も
人手が掛る最終仕上面の異物、スクラッチ、研磨ムラ、ヘイズ、スリップ等の
様々な欠陥検出をするためのマクロ観察用照明装置です。
概要
1. 試料表面を400,000Lx以上に照明することができます。
2. 光源にはハロゲンランプを使用しているため色温度は高く、照明ムラが少なく
、非常に安定したシャープな照明となっています。
3. コールドミラーの使用により熱の影響が従来のアルミミラーの1/3と極端に
少なくなっています。
4. 2段切換機構により、高照度観察、低照度観察をワンタッチで切換えることが
できます。
YP-150I・・・照度範囲 φ30
YP-250I・・・照度範囲 φ60
（YP-250Iはプロペラファン型とダクトファン型を選ぶことができます。）
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