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用于半导体制造过程的多组分密度计介绍

用于半导体制造过程的多组分密度计介绍


产品概览

该型号在保留 FUD-1 Model-53 的可维护性和高精度在线测量等优点的同时，采用了用于半导体制造过程的小型单元型变送器。

多组分密度计的特点

3 个组件中的 2 个组件密度计侧可以实时进行

  • 配备模拟DC 4至20mA（2系统）和数字RS232C作为标准设备

  • 标配测量误差输出和报警输出

  • 标配自诊断功能和错误信息显示

  • 紧凑轻便的单元式变送器可直接安装在线路上

  • 由于使用 PFA 的接液部件的质量和小输出设计，对化学溶液没有影响。


优点

  • 可进行高精度连续测量

  • 免维护，无需定期调整和校准

  • 安装方便，安装过程中无需进行各种调整

  • 通过实时输出轻松反馈过程


用

  • CMP工艺中的CMP浆料和氧化剂浓度控制等。

  • 清洗过程中清洗液浓度控制（HF+HNO3、HF+H2SiF6等）

  • 蚀刻工艺中蚀刻液浓度控制（TMAH+抗蚀剂、TMAH+Si等）





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