适用于光学薄膜和透明涂膜检测的光谱干涉测厚仪TOF-S介绍
实现高测量重复性(± 0.01 μm 或更小,取决于对象和测量条件)
不易受温度变化的影响
可以制造用于研究和检查的离线型和制造过程中使用的在线型。
反射型允许从薄膜的一侧测量
只能测量透明涂膜层(取决于测量条件)
测量厚度 | 1 至 50 μm(用于薄材料)、10 至 150 μm(用于厚材料) |
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测量长度 | 50-5000 毫米 |
测量间距 | 1 毫米 ~ |
最小显示值 | 0.001 微米 |
电源电压 | AC100 伏 50/60 赫兹 |
工作温度限制 | 5~45℃(测量时温度变化在1℃以内) |
湿度 | 35-80%(无冷凝) |
测量区域 | φ0.6毫米 |
测量间隙 | 约 30 毫米 |
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