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日本标准在线式薄膜测厚仪的检测方法及标准
日本标准在线式薄膜测厚仪的检测方法及标准
随着科技的进步和精密仪器的应用，薄膜厚度的测量方法有很多，按照测量的方式分可以分为两类：直接测量和间接测量。直接测量指应用测量仪器，通过接触（或光接触）直接感应出薄膜的厚度，常见的直接法测量有：螺旋测微法、精密轮廓扫描法（台阶法）、扫描电子显微法（SEM）；间接测量指根据一定对应的物理关系，将相关的物理量经过计算转化为薄膜的厚度，从而达到测量薄膜厚度的目的。常见的间接法测量有：称量法、电容法、电阻法、等厚干涉法、变角干涉法、椭圆偏振法。按照测量的原理可分为三类：称量法、电学法、光学法。常见的称量法有：天平法、石英法、原子数测定法；常见的电学法有：电阻法、电容法、涡流法；常见的光学方法有：等厚干涉法、变角干涉法、光吸收法、椭圆偏振法。
薄膜测试仪连续测厚机FT-A200 / FT-A200R
配备高精度测量头和放大器单元的机器。
只需设置从生产线切出的薄膜，即可轻松连续测量厚度。
FT-A200 测量范围 / 10 μm 至 200 μm
FT-A200R 测量范围 / 3 μm 至 100 μm
测量分辨率/ 0.01 μm
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