透明或者半透明薄膜的膜厚测量系统运用技术
一种行业标准、价格低廉、用途广泛的台式薄膜厚度测量系统,已安装了 5,000 多台。它可用于从研发到生产现场在线测量的广泛应用。
F20可以在1秒左右轻松测量透明或半透明薄膜的膜厚、折射率和消光系数。
它还支持多点在线测量,并支持RS-232C和TCP/IP等外部通信,因此可以从PLC或上位机控制。
支持广泛的薄膜厚度(1 nm 至 250 μm)
支持宽波长范围(190nm 至 1700nm)
强大的膜厚分析
光学常数分析(折射率/消光系数)
紧凑型外壳
支持在线测量
平板 | 单元间隙、聚酰亚胺、ITO、AR薄膜、 各种光学薄膜等 |
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半导体 | 抗蚀剂、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等 |
光学镀膜 | 减反射膜、硬涂层等 |
薄膜太阳能电池 | CdTe、CIGS、非晶硅等 |
砷化铝镓(AlGaAs)、磷化镓(GaP)等 | |
医疗保健 | 钝化、药物涂层等 |
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