半导体晶片和玻璃面板运输过程中的振动测量特点

1.测量条件

• 使用的测量仪器

• 高速3通道无线振动记录仪MVP-RF3-HC

• 测量对象

• 液晶玻璃面板

• 尺寸

• 约 1.5m x 1.9m x 1.8mm

• 测量位置

• 将记录器固定在玻璃基板的中心附近

• 固定方法

• 包装胶布

• 输送方向

• Z轴方向（面板垂直方向）

2. 加速度波形（振动波形）测量数据

加速度数据是从晶圆移动开始到停止的这段时间测量的。
高速3通道无线振动记录仪内置3轴加速度传感器，因此可以同时测量3个方向的加速度值。

<最大加速度>

<讨论>

1. 在这种载体中，启动和停止时的加速度（振动）很大。

2. 运输过程中加速度小。

3. 开始移动时施加的加速度（振动）更大。

4. 施加加速度（振动）的方向在 Z 轴方向（面板厚度方向）最大。

5. 最大加速度（振动）约为9.8m/sec^2（约1.0G）

3. FFT分析

<FFT分析条件>

在上述“加速度波形数据"中，提取并分析“开始移动"时的数据（0至1秒）。

<FFT分析结果>

<讨论>

1. Z轴方向（面板厚度方向）在50Hz附近有一个谱峰。
   →是面板的固有振动频率吗？

2. 如果设备运行中有50Hz附近的频率成分，由于共振的影响，面板损坏的可能性增加，估计成品率会下降。

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高速3通道紧凑型无线振动记录仪MVP-RF3-HC