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磁控溅射设备的主要用途

磁控溅射设备的主要用途

电子束是PVD的一种,磁控溅射也一样。电子束一般用于对镀膜材料有高纯度高标准要求的领域,而磁控溅射一般的应用更日常一些,比如半导体、常见的绝缘体材料、一些手机壳,这下不再觉得磁控溅射遥远了吧。而且磁控溅射的优点也很明显、很接地气:设备简单、易于操控、镀膜面积大等等。

磁控溅射系统是利用靶材背面的强力磁铁促进阴极表层电离,利用磁场使离子与靶材碰撞,喷射出金属分子的原理。
黄金和铂金等贵金属主要用于电子显微镜应用。热博rb88还有一系列可以溅射其他金属靶材的型号。

用于电子显微镜的溅射,主要颗粒尺寸的比较


Au:金
观察区域:几千到10,000倍
Au-Pd:金钯
观察区域:10,000到50,000倍
适合低倍观察,对比度好。

Pt:铂
观察面积:50000~100000倍
Pt--Pd:铂钯
观察面积:30000~50000倍
粒径细,常用于高倍观察。

W:钨
观察倍率:100,000倍以上
粒径具有与锇相当的细度,可以在比铂更高的倍率范围内进行观察。

那么,磁控溅射设备的主要用途有哪些呢?

1.被应用于装饰领域,被制成全反射及半透明膜,比如热博rb88常用常换常买的手机壳,没想到吧;

2.被应用于机械加工行业中提高涂层产品的寿命寿命。因为溅射磁控镀膜能够有效提高表面硬度、韧性、耐磨抗损以及耐化学侵蚀、耐高温,从而达到提高产品寿命的作用;

3.被应用于微电子领域。在微电子领域作为一种非热式镀膜技术,主要应用在化学气相沉积(CVD)或金属有机;

4.被应用于在高温超导薄膜、铁电体薄膜、薄膜发光材料、太阳能电池等方面的研究,发挥了非常重大且重要的作用;

5.被应用于各种功能性薄膜的制作。比如具有反射、折射、透射作用的薄膜;具有吸收、偏光等作用的薄膜;

6.被应用于光学领域。比如被广泛应用于平板显示器件的透明导电玻璃、微波与射频屏蔽装置与器件、传感器的生产,都离不开磁控溅射技术。

相关产品介绍

设备特征目标金属
MSP-mini
超小型溅射设备
对于光学显微镜,这是适合制作有光泽的 Ag 薄膜以及 SEM 和台式 SEM 预处理的装置。
MSP-1S
是一款带有内置泵的紧凑型溅射系统。
也可用于溅射铂靶,可用于高达约50,000倍的高倍率观察。


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