非接触式膜厚测量系统FF8的特点

特征

1. 测量样品的反射率（干涉波形），并通过FFT（快速傅里叶变换）或其他方法分析薄膜厚度值。

2. 除了薄膜厚度测量外，还可以测量薄膜和玻璃厚度以及折射率。 选项包括多层薄膜、曲线拟合、显微镜、映射测量、颜色测量和组分浓度分析。

3. 测量数据可以保存为文件，以后重新分析。

4. 由于还可以制造连续测量功能、横移机构和数据通信功能，因此也可以用作在线薄膜厚度测量。