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非接触式膜厚测量系统FF8的特点

非接触式膜厚测量系统FF8的特点

特征

  1. 测量样品的反射率（干涉波形），并通过FFT（快速傅里叶变换）或其他方法分析薄膜厚度值。

  2. 除了薄膜厚度测量外，还可以测量薄膜和玻璃厚度以及折射率。 选项包括多层薄膜、曲线拟合、显微镜、映射测量、颜色测量和组分浓度分析。

  3. 测量数据可以保存为文件，以后重新分析。

  4. 由于还可以制造连续测量功能、横移机构和数据通信功能，因此也可以用作在线薄膜厚度测量。

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测量范围
（分辨率）		0.01微米~50微米（0.1纳米）
0.5微米~50微米（0.1纳米）
1微米~200微米（0.001微米）
4微米~800微米（0.001微米）









Si02薄膜的测量示例（薄膜厚度：500nm）


乙烯基的测量示例（厚度：11μm）
氧化铝膜的测量示例（膜厚：10μm）
印刷电路板抗蚀膜的测量示例



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