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芯片周边曝光的UV-LED光源

适用于g线、i线抗蚀剂的芯片周边曝光用的UV-LED光源。
不仅可以安装在新装置上,而且从当前使用的UV灯光源更换也很方便。
通过搭载UV-LED,可降低耗电量、降低环境负荷、延长发光源寿命,并且不需要机械相关的消耗部件,从而大大降低客户的运行成本

紫外線発光源紫外发光二极管
紫外線発光源寿命20000小时(推定寿命驱动电流最大时)※紫外线强度为初期50%以上的点灯累计时间
照射ON/OFF功能UV-LED的ON/OFF控制(通过远程及手动控制点亮/熄灭)
光量调整机能UV-LED的电流调整光量调整范围为20~100%
外装材質不锈钢
外形寸法150毫米×200毫米×192毫米


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