日本易威奇iwaki低脉动气动风囊泵FLP-60W
低脉动
*的系统驱动机制,确保气囊jia运动效果,将脉动减到低。
减低压缩空气消耗量
在不影响泵的性能下,减少高达30%的压缩空气消耗量。
高持续压力
jia的气囊运动,有效提高压力的承受能力,以维持稳定的流量和负载频繁变化下的吐出压力,尤其在单晶圆处理过程中。
无需阻尼器
泵的运作无需使用阻尼器,节省设备空间及安装费用,例如氟塑料接管等。整体设备的重量/尺寸得以小化。
日本易威奇iwaki低脉动气动风囊泵FLP-60W
规格
大流量 L/min | 50 | ||||
大脉动宽度 MPa | 0.06 | ||||
液体温度范围 °C(MPa) | 5 ~ 100 (0.5), 101 ~ 150 (0.4), 151 ~ 180 (0.3) | ||||
压缩空气压力范围 MPa | 0.41 ~ 0.5 | 0.31 ~ 0.4 | 0.21 ~ 0.3 | 0.11 ~ 0.2 | 0.1 |
gao冲程率 spm | 120 | 140 | 155 | 160 | |
大压缩空气消耗量 NL/min | 464 | 419 | 338 | 252 | 116 |
大粘度 mPa·S | 50 | ||||
吸程 m | 1 | ||||
环境温度 / 湿度 °C/%RH | 0 ~ 40 (非冷凝) / 30 ~ 60 (非冷凝) | ||||
储存温度 / 湿度 °C/%RH | -10 ~ 60 (非冷凝) / 20 ~ 70 (非冷凝) | ||||
操作方式 | 间隔 /连续 | ||||
驱动方式 | 外部压缩空气 | ||||
接头尺寸 mm | Ø25 x Ø22 软管 | ||||
压缩空气接头尺寸 | Rc3/8 | ||||
空气端口 | Ø6 一触式接头 | ||||
重量 kg | 22 |
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