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日本shibaura电机直联式油旋转真空泵

产品名称: 日本shibaura电机直联式油旋转真空泵
产品型号: DRP系列
产品特点: 日本shibaura电机直联式油旋转真空泵
DRP系列的特点
两段式,极限压力低
采用电机直接连接方式,结构紧凑,轻便,粉尘少,可以保持清洁的环境。
低振动和低噪音
维修方便
强大的气镇阀(蒸汽处理阀)可抵抗蒸汽和可冷凝气体的排放

日本shibaura电机直联式油旋转真空泵 的详细介绍

日本shibaura电机直联式油旋转真空泵

 

使用例

  • 溅射设备
  • 气相沉积设备
  • 各种等离子设备
  • 真空炉
  • 各种真空测试设备

DRP系列阵容

模型单元DRP-180YⅡDRP-360YⅡDRP-360Ⅲ
施工包括转子叶片式两级
气镇阀
设计抽速50 Hz,L /分钟150300300
60 Hz,L /分钟180360360
极限压力2.7×10 -2(* 2)2.7×10 -2(* 2)6.7×10 -2(* 2)
所需马达ACV,相,kW200、3、0.4(* 3)200、3、0.75(* 3)(* 4)200、3、0.73(* 3)(* 5)
录取 NW25(* 6)NW25(* 6)NW25(* 6)
排气口 PS1PS1PS1
用油 TSR-1200TSR-1200TSR-1200
油量大号0.81.21.5
尺寸(* 1)宽x深x高(毫米)261 x 494.5 x 209261 x 572 x 172260 x 503 x 176
质量(* 1)公斤273834
水处理量升/小时0.20.40.4
噪声50 Hz,分贝(A)606158
60 Hz,分贝(A)636461
振动 振幅0.05mm以下
冷却方式 强制冷却(风冷)
     
模型单元DRP-800DRP-1500 
施工包括转子叶片式两级
气镇阀
 
设计抽速50 Hz,L /分钟7001,250 
60 Hz,L /分钟8401,500 
极限压力6.7×10 -2(* 2)6.7×10 -2(* 2) 
所需马达ACV,相,kW200、3、1.5(* 3)(* 4)200、3、2.2(* 3)(* 4) 
录取 VG50VG50 
排气口 PS1 1/2PS2 
用油 TSR-1200TSR-1200 
油量大号2.33.5 
尺寸(* 1)宽x深x高(毫米)441 x 608 x 237496 x 721.5 x 253 
质量(* 1)公斤6796.5 
水处理量升/小时0.81.5 
噪声50Hz,分贝(A)6373 
60Hz,分贝(A)6776 
振动 振幅0.05mm以下 
冷却方式 强制冷却(风冷) 

* 1表示包括底座,电机等在内的设定值。
* 2用MacLeod真空计测量
* 3全
封闭式风扇电机* 4 IE3规格
* 5 CE规格(相当于IE1)
* 6可选

  • [DRP-180YII]真空保持型

    [DRP-180YII]真空保持型

    外型尺寸

  • [DRP-360YII]真空保持型

    [DRP-360YII]真空保持型

    电机符合相关法规(IE3)

    外型尺寸

  • [DRP-360Ⅲ]自动泄漏型

    [DRP-360Ⅲ]自动泄漏型

    CE规格电机(IE1)

    外型尺寸

  • [DRP-800]

    [DRP-800]

    电机符合鼎级法规(IE3)

    外型尺寸

  • [DRP-1500]

    [DRP-1500]

    电机符合相关法规(IE3)

    外型尺寸

*规格和建议零售价如有变更,恕不另行通知。

预防措施

  • 热博rb88的油旋转真空泵是根据以下用途设计和制造的。
    (1)吸入气体的种类空气和惰性气体(N 2,CO 2,He,Ne,Ar,Xe,Rn ・ ・ ・)
    (2)吸入气体的温度5-40 ℃ 
    (3)环境温度5〜 40°C 
    (4)常压泵压约1.3×10 2 Pa以下
    (5)其他真空和大气重复的频率低。切勿吸入水等液体。
      *如果条件与上述条件不同,请与热博rb88联系。
  • 请注意,如果将标准规格的真空泵用于以下目的,将会缩短其使用寿命。
    (1)腐蚀性气体(Cl 2,CCl 4,CF 4,BBr 3,HBr···)
      [示例] 
        即使在特殊规格的真空泵中,也进行离子注入,蚀刻,CVD等操作,易燃,易挥发请勿吸入该物质。
    (2)排放大量水蒸气,化学物质,溶剂,粉末等。
    (3)工作压力为1.3 kPa以上时。
    (4)真空和大气的频率高时。
    (5)请勿吸入氨气。

 日本shibaura电机直联式油旋转真空泵

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