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产品资料

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日本shibaura电机直联式油旋转真空泵

产品名称: 日本shibaura电机直联式油旋转真空泵

产品型号: DRP系列

产品特点: 日本shibaura电机直联式油旋转真空泵
DRP系列的特点
两段式，极限压力低
采用电机直接连接方式，结构紧凑，轻便，粉尘少，可以保持清洁的环境。
低振动和低噪音
维修方便
强大的气镇阀（蒸汽处理阀）可抵抗蒸汽和可冷凝气体的排放

日本shibaura电机直联式油旋转真空泵 的详细介绍

日本shibaura电机直联式油旋转真空泵

使用例

溅射设备
气相沉积设备
各种等离子设备
真空炉
各种真空测试设备

DRP系列阵容

模型	单元	DRP-180YⅡ	DRP-360YⅡ	DRP-360Ⅲ
施工		包括转子叶片式两级气镇阀
设计抽速	50 Hz，L /分钟	150	300	300
设计抽速	60 Hz，L /分钟	180	360	360
极限压力	帕	2.7×10 ^-2（* 2）	2.7×10 ^-2（* 2）	6.7×10 ^-2（* 2）
所需马达	ACV，相，kW	200、3、0.4（* 3）	200、3、0.75（* 3）（* 4）	200、3、0.73（* 3）（* 5）
录取		NW25（* 6）	NW25（* 6）	NW25（* 6）
排气口		PS1	PS1	PS1
用油		TSR-1200	TSR-1200	TSR-1200
油量	大号	0.8	1.2	1.5
尺寸（* 1）	宽x深x高（毫米）	261 x 494.5 x 209	261 x 572 x 172	260 x 503 x 176
质量（* 1）	公斤	27	38	34
水处理量	升/小时	0.2	0.4	0.4
噪声	50 Hz，分贝（A）	60	61	58
噪声	60 Hz，分贝（A）	63	64	61
振动		振幅0.05mm以下
冷却方式		强制冷却（风冷）

模型	单元	DRP-800	DRP-1500
施工		包括转子叶片式两级气镇阀
设计抽速	50 Hz，L /分钟	700	1,250
设计抽速	60 Hz，L /分钟	840	1,500
极限压力	帕	6.7×10 ^-2（* 2）	6.7×10 ^-2（* 2）
所需马达	ACV，相，kW	200、3、1.5（* 3）（* 4）	200、3、2.2（* 3）（* 4）
录取		VG50	VG50
排气口		PS1 1/2	PS2
用油		TSR-1200	TSR-1200
油量	大号	2.3	3.5
尺寸（* 1）	宽x深x高（毫米）	441 x 608 x 237	496 x 721.5 x 253
质量（* 1）	公斤	67	96.5
水处理量	升/小时	0.8	1.5
噪声	50Hz，分贝（A）	63	73
噪声	60Hz，分贝（A）	67	76
振动		振幅0.05mm以下
冷却方式		强制冷却（风冷）

* 1表示包括底座，电机等在内的设定值。
* 2用MacLeod真空计测量
* 3全
封闭式风扇电机* 4 IE3规格
* 5 CE规格（相当于IE1）
* 6可选

[DRP-180YII]真空保持型
[DRP-360YII]真空保持型
电机符合相关法规（IE3）

[DRP-360Ⅲ]自动泄漏型
CE规格电机（IE1）
[DRP-800]
电机符合鼎级法规（IE3）

[DRP-1500]
电机符合相关法规（IE3）

*规格和建议零售价如有变更，恕不另行通知。

预防措施

热博rb88的油旋转真空泵是根据以下用途设计和制造的。
（1）吸入气体的种类空气和惰性气体（N ₂，CO ₂，He，Ne，Ar，Xe，Rn ･･･）
（2）吸入气体的温度5-40 ℃
（3）环境温度5〜 40°C
（4）常压泵压约1.3×10 ² Pa以下
（5）其他真空和大气重复的频率低。切勿吸入水等液体。
*如果条件与上述条件不同，请与热博rb88联系。
请注意，如果将标准规格的真空泵用于以下目的，将会缩短其使用寿命。
（1）腐蚀性气体（Cl ₂，CCl ₄，CF ₄，BBr ₃，HBr···）
[示例]
即使在特殊规格的真空泵中，也进行离子注入，蚀刻，CVD等操作，易燃，易挥发请勿吸入该物质。
（2）排放大量水蒸气，化学物质，溶剂，粉末等。
（3）工作压力为1.3 kPa以上时。
（4）真空和大气的频率高时。
（5）请勿吸入氨气。

日本shibaura电机直联式油旋转真空泵

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