日本shinkuu真空简单的真空气相沉积系统
通过在外壳中内置TMP来实现紧凑的外壳。由于它是台式机类型,因此不会占用空间。RP被放置在地板上。
热博rb88以低价提供带有小TMP + RP排气系统的清洁,高真空气相沉积设备。一个简单的操作系统,消除了复杂的排气操作,仅打开和关闭开关。
可以使用钨筐沉积金,铝,铬,银等。对于碳气相沉积,使用了一种钳式气相沉积枪型,它会随着碳的蒸发而蒸发锋利的铅笔型替换芯。(不能使用Φ5mm碳棒。)
购买时,热博rb88将选择碳气相沉积电极或金属气相沉积电极。可以选择购买其他电极。
碳蒸镀电极
Φ0.5mm碳蒸镀电极,仅用于碳。
它能够在高真真空区中沉积碳,并且可以形成具有优异膜质量和膜强度的碳膜。
附带的防污盖可醉大程度地减少碳蒸气沉积的扩散范围,并减少清洁负担。
建议使用碳SLC-30作为碳气相沉积源。
金属气相
沉积电极这是专门用于钨筐的金属气相沉积电极。
可以轻松地沉积金,铝,铬等。随附的防污罩可醉大程度地减少气相沉积范围,并减少清洁负担。
主要产品规格
项目 | 规范 |
电源 | AC100V(单相100V15A) |
装置尺寸 | 宽400毫米,深425毫米,高546毫米 (设备重量25千克) |
旋转泵(外部) | 排气速度50ℓ/ min(G-50DA) (重量11kg) |
涡轮泵(内置装置) | 排气速度67ℓ/秒 |
样品台 | 直径72毫米 |
沉积源-样品台间距 | 可在0毫米至140毫米范围内调节 |
关于选项
2018.11.01
选配
对于气相沉积设备,热博rb88为各种实验应用提供大量选择。此选项是一个正常的示例。热博rb88也接受根据客户所需规格的修改,因此请与热博rb88联系。VE-2012 ...
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