日本napson4探针法测量仪

测量仪：RT-70V>

• 使用JOG拨盘，厚度，温度，PN输入（RT-70V测试仪），易于操作
• 自检功能，自动量程切换，4种测量模式
• 具有厚度/温度补偿功能（用于硅）

<测量阶段>

*根据目的和用途，可以从以下选择测量阶段。

• （1）RG-7C  [产品图片左上]：电机自动上下探针台
• （2）RG-5   [产品图像左下方] ：带手动手柄的探针上下平台
• （3）RG-7S [产品图片右上]：用于玻璃基板/薄膜样品的XY工作台 
• （4）TS-7D [产品图像右下] ：便捷的探头类型*平台板是可选的。

测量规格

测量目标

• 与半导体/太阳能电池相关的材料（硅，多晶硅，SiC等）
• 新材料/功能材料（碳纳米管，DLC，石墨烯，银纳米线等）
• 导电薄膜相关（金属，ITO等）
• 扩散样本
• 硅基外延离子注入样品
• 其他（*请与热博rb88联系）

测量尺寸

*组合测量取决于舞台类型。

圆形：〜300mm（12英寸），方形：〜730x920mm，可广泛使用。

测量范围

［电阻（电阻率）］1μ〜300kΩ・ cm 
［板电阻］ 5m〜10MΩ/ sq

测量仪：RT-70V>

• 使用JOG拨盘，厚度，温度，PN输入（RT-70V测试仪），易于操作
• 自检功能，自动量程切换，4种测量模式
• 具有厚度/温度补偿功能（用于硅）

<测量阶段>

*根据目的和用途，可以从以下选择测量阶段。

• （1）RG-7C  [产品图片左上]：电机自动上下探针台
• （2）RG-5   [产品图像左下方] ：带手动手柄的探针上下平台
• （3）RG-7S [产品图片右上]：用于玻璃基板/薄膜样品的XY工作台 
• （4）TS-7D [产品图像右下] ：便捷的探头类型*平台板是可选的。

测量规格

测量目标

• 与半导体/太阳能电池相关的材料（硅，多晶硅，SiC等）
• 新材料/功能材料（碳纳米管，DLC，石墨烯，银纳米线等）
• 导电薄膜相关（金属，ITO等）
• 扩散样本
• 硅基外延离子注入样品
• 其他（*请与热博rb88联系）

测量尺寸

*组合测量取决于舞台类型。

圆形：〜300mm（12英寸），方形：〜730x920mm，可广泛使用。

测量范围

［电阻（电阻率）］1μ〜300kΩ・ cm 
［板电阻］ 5m〜10MΩ/ sq

日本napson4探针法测量仪