日本thermocera陶瓷顶加热器醉高1800℃
总览陶瓷顶部加热器可广泛用于真空,惰性气体和其他各种工艺气体中的薄膜研发应用,以及各种真空膜沉积设备应用。顶板由氮化铝制成,氮化铝在高温下具有出色的导热性,并且具有很高的电绝缘性(也可提供Inc600,石英,Mo,W,BN板等)。可以根据使用条件来选择加热器元件,例如金属线例如NiCr,Inc,Mo,W,碳加热器例如石墨和CCC,以及涂层加热器例如PG / SiC / PBN涂层。它不仅用于研发,而且在半导体制造设备和各种真空设备(超高真空设备,例如PVD,CVD,MBE等)中的高温热板和基板加热阶段方面也取得了许多成就。 | ||
![]() 8“ NiCr元素800℃ | ![]() 3”石墨1300℃ | ![]() 6”西伯克大衣1400℃ | ![]() 2”石墨1200℃ |
使用◉真空薄膜形成(CVD,溅射,ALD,PLD,MBE等) |
使用的发热体:根据使用环境,可以从以下10种电线中选择NiCr加热器Max1000℃◉Inconel |
顶板材料nitride氮化铝 |
醉高工作温度(元件温度) |
主机连接方式◉ICF法兰 |
热电偶(可添加用于车身控制和过热检测)◉K型 |
参考数据[1英寸大1600℃陶瓷顶部加热器]温升测试(*页面顶部右图) |
参考数据[6英寸大1200℃陶瓷顶部加热器(CCC元件)]面内温度分布测量 |
日本thermocera陶瓷顶加热器醉高1800℃
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