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产品资料

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日本thermocera小型立式实验堆

产品名称: 日本thermocera小型立式实验堆

产品型号: TVF-110

产品特点: 日本thermocera小型立式实验堆
手动提升立式实验炉，适用于小至3英寸晶圆的小基板
cost低成本醉低要求的配置（手动控制）适用于管式炉，扩散炉，热CVD。
主要用途
小样本基础实验在大学/公司实验室中的使用
半导体，太阳能电池，燃料电池，电子基板等的热处理
基础实验：用于氧化扩散炉，LPCVD等的简单热处理实验。

日本thermocera小型立式实验堆 的详细介绍

日本thermocera小型立式实验堆

手动提升立式实验炉，适用于小至3英寸晶圆的小基板
cost低成本醉低要求的配置（手动控制）适用于管式炉，扩散炉，热CVD。
主要用途
小样本基础实验在大学/公司实验室中的使用
半导体，太阳能电池，燃料电池，电子基板等的热处理
基础实验：用于氧化扩散炉，LPCVD等的简单热处理实验。

特性

用户友好，易于手动操作
简单的配置非常适合基础实验应用
热博rb88可以提供低成本和醉低要求规格的设备。
可以根据要求添加功能，热博rb88将每次定制。

*作为标准配置，只有炉体（包括基座和垂直升降机构）和温度控制单元可用。
*不包括气体引入/排出系统，气体压力控制，冷却水控制等。热博rb88将根据要求添加它。

主要规格

[电炉部分]

醉高工作温度	醉高1200℃（*加热器温度，正常醉高1100℃）醉高950℃（板温）
加热器	地暖1区1.5KW
炉	陶瓷成型品Φ290x 300L（分体式）
案件	铝壳开合式
热电偶	用于控制，过热检测：K型护套热电偶（2对）
温度测量用热电偶	Φ0.65mmK线型带绝缘管1500L
温度控制	PID温度控制器可控硅控制

[炉芯管/石英夹具部分]

芯管	Φ100xΦ95x 470L毫米
缓冲	234H xΦ86屏蔽x 2层
感受器	Φ86x t5毫米（带上下杆）x 2至3步
热电偶保护管	Φ8xΦ6x 660L毫米

[基座/底座法兰向上/向下]

驱动系统	手动型（旋转手柄）
中风	Max300mm（基座）Max500mm（基础法兰）带限位器，带有任意垂直限位器

外型尺寸

日本thermocera小型立式实验堆

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