在这里，热博rb88将介绍接触式电阻测量原理的概述（4探针法）（该原理的详细说明在材料中）。

（*对于热博rb88的产品，还有一个系统会根据电阻范围使用不同的测量方法。）

四探针法主要用于接触式情况，可以测量1E-3（1m）到1E + 9（1G）Ω/□电阻范围。

这种测量方法是在广泛领域中测量电阻的基础。

●在四探针法中，将按照以下步骤进行测量。

（1）将四个针状电极直线地放在测量样品上。

（2）两个外部探头之间流过恒定电流。

（3）通过测量两个内部探针之间的电位差来计算电阻。

如下图所示，相同的测量原理用于电阻和薄层电阻的测量。 

电阻（电阻率）

座阻力

热博rb88的4探针测量系统是符合JIS和ASTM标准的测量方法和校正方法，已被用作行业标准测量系统，尤其受到硅相关用户的信赖。我会。

另外，关于可追溯性，热博rb88使用符合NIST（美国国家标准技术研究院）标准的标准样品作为设备校准标准，进行认真的装运前检验。

* 4探针法和“ 4端子法”的测量原理相同，唯1的不同是与样品接触的电极部分的形状不同。4探针的针距为1 mm =测量点：大约3 mm，与4端子探针相比，可以在非常小的点上进行测量。另外，如在四端子法中一样，通过消除在样品上形成电极的需要可以提高工作效率。

此外，纳普森的4针电阻测量设备符合日本工业标准（JIS）和美国材料测试协会（ASTM）设定的以下标准。

日本工业标准

JIS H 0602-1995

硅单晶和硅晶片的四探针法电阻测量方法

JIS K 7194-1994

导电塑料四探针法电阻测试方法

美国材料试验学会

ASTM F 84-99（SEMI MF84）

用在线四点探针测量硅晶片电阻率的标准测试方法

ASTM F 374-00a

使用单配置程序的在线四点探针对硅外延层，扩散层，多晶硅层和离子注入层的薄层电阻的标准测试方法

ASTM F 390-11

带共线四探针阵列的金属薄膜的薄层电阻的标准测试方法

ASTM F 1529-97

双重配置程序的直插式四点探针的薄层电阻均匀性评估的标准测试方法

日本napson4探针法测量仪

测量仪：RT-70V>

• 使用JOG拨盘，厚度，温度，PN输入（RT-70V测试仪），易于操作
• 自检功能，自动量程切换，4种测量模式
• 具有厚度/温度补偿功能（用于硅）

<测量阶段>

*根据目的和用途，可以从以下选择测量阶段。

• （1）RG-7C  [产品图片左上]：电机自动上下探针台
• （2）RG-5   [产品图像左下方] ：带手动手柄的探针上下平台
• （3）RG-7S [产品图片右上]：用于玻璃基板/薄膜样品的XY工作台 
• （4）TS-7D [产品图像右下] ：便捷的探头类型*平台板是可选的。

测量规格

测量目标

• 与半导体/太阳能电池相关的材料（硅，多晶硅，SiC等）
• 新材料/功能材料（碳纳米管，DLC，石墨烯，银纳米线等）
• 导电薄膜相关（金属，ITO等）
• 扩散样本
• 硅基外延离子注入样品
• 其他（*请与热博rb88联系）

测量尺寸

*组合测量取决于舞台类型。

圆形：〜300mm（12英寸），方形：〜730x920mm，可广泛使用。

测量范围

［电阻（电阻率）］1μ〜300kΩ・ cm 
［板电阻］ 5m〜10MΩ/ sq

测量仪：RT-70V>

• 使用JOG拨盘，厚度，温度，PN输入（RT-70V测试仪），易于操作
• 自检功能，自动量程切换，4种测量模式
• 具有厚度/温度补偿功能（用于硅）

<测量阶段>

*根据目的和用途，可以从以下选择测量阶段。

• （1）RG-7C  [产品图片左上]：电机自动上下探针台
• （2）RG-5   [产品图像左下方] ：带手动手柄的探针上下平台
• （3）RG-7S [产品图片右上]：用于玻璃基板/薄膜样品的XY工作台 
• （4）TS-7D [产品图像右下] ：便捷的探头类型*平台板是可选的。

测量规格

测量目标

• 与半导体/太阳能电池相关的材料（硅，多晶硅，SiC等）
• 新材料/功能材料（碳纳米管，DLC，石墨烯，银纳米线等）
• 导电薄膜相关（金属，ITO等）
• 扩散样本
• 硅基外延离子注入样品
• 其他（*请与热博rb88联系）

测量尺寸

*组合测量取决于舞台类型。

圆形：〜300mm（12英寸），方形：〜730x920mm，可广泛使用。

测量范围

［电阻（电阻率）］1μ〜300kΩ・ cm 
［板电阻］ 5m〜10MΩ/ sq

日本napson4探针法测量仪