涡流法主要用于非接触式，可测量1E-3（1m）至1E + 4（10k）Ω/□电阻范围。

它可用于半导体，化合物半导体，液晶和新型碳基材料等广泛领域的测量。

涡电流测量系统使用电磁感应产生的涡电流来测量电阻。

非接触式测量探头单元的探头芯（磁性材料）在两侧（上下）以一定的间隙排列。

<非接触式测量探头单元的结构>

●在涡流法中，按照以下步骤进行测量。

（1）当在探针芯之间施加高频以产生磁通量并且插入样本时，样本中产生涡流。

（2）此时，（1）涡电流流过样品→（2）样品中消耗了电流，发生了功率损耗。

　→③电路中的电流成比例降低。检测该减小的电流值。

（3）由于检测到的电流值与样品的电阻成反比关系，请使用此值。

　座电阻或电阻是从电流值和座电阻的校准曲线（计算公式）得出的。

　　（*计算电阻时需要样品厚度信息）

紧凑且易于操作的手动非接触式（涡流法）电阻测量仪

产品名称：EC-80

产品图片（可根据客户要求进行各种定制）

产品特点

• 一种简单的测量仪器，只需在探针之间插入样品即可进行测量
• 在电阻/薄层电阻测量模式之间轻松切换
• 使用JOG拨盘轻松设置测量条件
• *由于探头是固定的，因此在购买前可以从几种探头中选择一种。

测量规格

测量目标

半导体/太阳能电池材料相关（硅，多晶硅，SiC等）
新材料/功能材料相关（碳纳米管，DLC，石墨烯，银纳米线等）
导电薄膜相关（金属，ITO等）
硅基外延，离子与
半导体相关的注入样品化合物（GaAs Epi，GaN Epi，InP，Ga等）
其他（*请与热博rb88联系）

测量尺寸

〜8英寸，或〜156x156mm

测量范围

[电阻] 1m至200Ω·cm 
（*所有探头类型的总范围/厚度500um）
[抗页电阻] 10m至3kΩ / sq 
（*所有探头类型的总范围）

*有关每种探头类型的测量范围，请参阅以下内容。
（1）低：0.01至0.5Ω/□（0.001至0.05Ω-cm）
（2）中：0.5至10Ω/□（0.05至0.5Ω-cm）
（3 ））高：10至1000Ω/□（0.5至60Ω-​​cm）
（4）S-高：1000至3000Ω/□（60至200Ω-cm）

日本napson电阻测量仪EC-80