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半导体/液晶/电子元件相关应用的氧分析仪

半导体/液晶/电子元件相关应用的氧分析仪

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

氧气计 MS-500

  • 最多可同时测量 8 个点

  • 可以显示从 ppm 级到 100% 的各种浓度。

  • 适合安装在半导体制造设备、真空设备等上。

  • 传感器为直插式(NW 法兰用于真空 16/25/40)

  • 高度耐用的传感器采用特殊涂层,以进一步提高耐用性。

MS-500 设备规格

测量原理氧化锆浓缩电池供电
形状分离式(转换器:壁挂式,传感器:直插式)
显示方式数字4位显示(浓度显示)
测量范围0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm
自动量程
重复性在 ± 0.5% FS 0-1% 范围内或更多
± 1% FS 或更少或 ±
0.1ppm更大 0-1% 范围小于0-1ppm,atm 范围超出保证浓度范围
测量点数1-8
样气条件压力10 -3~ 200 KPa(绝压)
流量0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min(自然扩散状态的测量)
湿度露点低于环境温度
温度0-100℃
其他不得含有腐蚀性气体(氟系气体、氯系气体、硫系气体等)、含有机硅的气体、可燃成分(包括瓦斯)、油、水。
比较气体大气层
录音机输出仅传输输出
传输输出RS-232C
报警输出没有任何
热身时间6分钟内
尺寸MS-500(控制器)92 (W) x 44 (H) x 120 (D)(不包括突出部分)
MS-510(转换器)100 (W) x 40 (H) x 88 (D)(不包括突出部分)
传感器单元SD16NW全长100mm(感应部分Φ11×39,本体部分Φ40×51)
SD25NW全长100mm(感应部分Φ11×42,本体部分Φ40×48)
SD40NW全长100mm(感应部分Φ11×41,本体部分Φ40×49)
大量的MS-500(控制器)约0.6Kg
MS-510(换能器)约0.5kg
传感器单元SD16NW约0.2Kg
SD25NW约0.2Kg
SD40NW约0.35Kg
外部连接真空法兰之一(NW16、25、40)
使用的电源24VDC ± 10%

氧气计LC-450A、LC-450D

  • 可以显示从测量的ppm 级到 100% 的广泛浓度范围。

  • 提高传感器的耐用性
    氧传感器经过特殊处理以提高其耐用性。

  • 交流宽电源 AC100-240VAC (LC-450A)
    * LC-450D由24V DC驱动

  • 紧凑且易于安装
    深度比热博rb88的传统型号更短,并且不占用太多空间。

  • 符合 RoHS 指令的产品

  • CE标志自我声明产品
    EN61010-1:2002、EN61326:+A3:2003

LC-450A 设备规格

测量原理氧化锆浓缩电池供电
形状桌面型/面板安装型
显示方式数字4位显示(浓度显示)
测量范围0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自动量程
重复性± 1% FS 0-1ppm内,atm范围超出保证浓度范围
抽样方法内置泵连续吸入型
样气条件压力加压30KPa以下
流量1,000-2,000 毫升/分钟
湿度露点低于环境温度
温度0-50℃
其他不得含有腐蚀性气体(氟系气体、氯系气体、硫系气体等)、含有机硅的气体、可燃成分(包括瓦斯)、油、水。
比较气体大气层
录音机
输出
氧气浓度输出在 4-20mA 和 0-20mA 之间切换(可选 0-10V) 绝缘,负载电阻 550Ω 或更少
记录仪输出范围是满量程,线性输出到氧气浓度
输出范围0-100%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自动/固定量程
传输输出RS-232C
报警输出FAIL(设备错误)1分无电压接点,接点容量30VDC/AC以下,0.5A以下
因设备异常接点闭合(接点动作可变更)
ALM(浓度报警)2 分(高 / 升)非电压触点,触点容量30VDC / AC或更少,0.5A或更低
时产生警报(接触操作可改变)触点闭合
RDY(预热信号)1分无电压接点,接点容量30VDC/AC以下,0.5A以下
  • 无电压接点的最小开关容量为12V以上,无法处理微小负载。

MRK(范围标记)输出2分无电压接点,接点容量30VDC/AC以下,0.5A以下
热身时间5分钟内
尺寸身体210 (W) x 134 (H) x 300 (D) mm(不包括突出部分)
大量的约6kg
气体
连接口
进口RC1 / 4
旁路输出RC1 / 4
出口RC1 / 4
使用的电源100-240VAC, 50VA (稳定: 35VA) 50Hz / 60Hz

LC-450D 设备规格

测量原理氧化锆浓缩电池供电
形状桌面型/面板安装型
显示方式数字4位显示(浓度显示)
测量范围0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自动量程
重复性± 1% FS 0-1ppm内,atm范围超出保证浓度范围
抽样方法内置泵连续吸入型
样气条件压力加压30KPa以下
流量1,000-2,000 毫升/分钟
湿度露点低于环境温度
温度0-50℃
其他不得含有腐蚀性气体(氟系气体、氯系气体、硫系气体等)、含有机硅的气体、可燃成分(包括瓦斯)、油、水。
比较气体大气层
录音机
输出
氧气浓度输出0-10VDC,绝缘,负载电阻600kΩ或多个
(可选:4-20mA的DC,绝缘,负载电阻550Ω或更小)
记录器输出范围是满量程和线性输出到氧浓度
输出范围0-100%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自动/固定量程
传输输出RS-232C
报警输出FAIL(设备错误)1分无电压接点,接点容量30VDC/AC以下,0.5A以下
因设备异常接点闭合(接点动作可变更)
ALM(浓度报警)2 分 (L / LL)非电压触点,触点容量30VDC / AC或更少,0.5A或更低
时产生警报(接触操作可改变)触点闭合
RDY(预热信号)1分无电压接点,接点容量 30VDC/AC 以下,0.5A 以下
预热运行时接点闭合(接点动作可变更)
  • 无电压接点的最小开关容量为12V或20mA以上,无法处理微小负载。

MRK(范围标记)输出2分无电压接点,接点容量30VDC/AC以下,0.5A以下
热身时间5分钟内
尺寸身体240 (W) x 134 (H) x 210 (D) mm(不包括突出部分)
大量的约5公斤
气体
连接口
进口RC1 / 8
旁路输出RC1 / 8
出口RC1 / 8
使用的电源24VDC ± 10%, 1.25A (30VA, 稳态)

氧气计LC-860

  • 低浓度测量 可测量从
    ppb级到100%

  • 操作简单
    按键操作简单

  • 吹扫功能
    比较 气体更稳定,测量精度更高(仅限带吹扫功能的规格)。

  • 高可靠性传感器 传感器
    内部也可进行劣化防止处理(可选)

LC-860 设备规格

测量原理氧化锆浓缩电池供电
形状桌面型/面板安装型
显示方式数字6位显示(浓度显示)
测量范围0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm
自动/固定量程
重复性
氧浓度在±1%FS以内,小于1ppm和0-1ppm,atm范围在保证浓度范围之外
抽样方法内置泵连续吸入型
样气条件压力加压30KPa以下
流量~ 1,500 毫升/分钟
湿度露点低于环境温度
温度0-50℃
其他不得含有腐蚀性气体(氟系气体、氯系气体、硫系气体等)、含有机硅的气体、可燃成分(包括瓦斯)、油、水。
比较气体大气层
录音机
输出
氧气浓度输出4-20mA / 0-10V 4-20mA
: 绝缘,负载电阻 600Ω 或更小
0-10V: 绝缘,负载电阻 500Ω 或更大
记录仪输出范围是满量程,线性输出到氧浓度
输出范围0-100%, 0-10%, 0-1%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm, 0-1ppm, 10 -20 -10 -0 或自动/固定量程的任意4个量程
传输输出RS-232C
报警输出FAIL(设备错误)1分无电压接点,接点容量24VDC/AC以下,0.1A以下
因设备异常接点闭合(接点动作可变更)
ALM(浓度报警)2分无电压接点,接点容量 24VDC/AC 以下,0.1A 以下
接点在发生警报时闭合(接点动作可变更)
RDY(预热信号)1分无电压接点,接点容量 24VDC/AC 以下,0.5A 以下
预热动作时接点闭合(接点动作可变更)
  • 无电压触点的最小开关容量为12V以上,无法处理微小负载。

MRK(范围标记)输出3分无电压接点,接点容量24VDC/AC以下,0.1A以下
热身时间20分钟内
尺寸身体288 (W) x 144 (H) x 400 (D) mm(不包括突出部分)
大量的约10公斤
气体
连接口
进口RC1 / 8
旁路输出RC1 / 8
出口RC1 / 4
使用的电源100-120VAC ± 10% 200VA 50Hz / 60Hz


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