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半导体/液晶/电子元件相关应用的氧分析仪
半导体/液晶/电子元件相关应用的氧分析仪
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860
氧气计 MS-500
最多可同时测量 8 个点
可以显示从 ppm 级到 100% 的各种浓度。
适合安装在半导体制造设备、真空设备等上。
传感器为直插式（NW 法兰用于真空 16/25/40）
高度耐用的传感器采用特殊涂层，以进一步提高耐用性。
MS-500 设备规格
| 测量原理 | 氧化锆浓缩电池供电 | ||
|---|---|---|---|
| 形状 | 分离式（转换器：壁挂式，传感器：直插式） | ||
| 显示方式 | 数字4位显示（浓度显示） | ||
| 测量范围 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自动量程 | ||
| 重复性 | 在 ± 0.5% FS 0-1% 范围内或更多 ± 1% FS 或更少或 ± 0.1ppm更大 0-1% 范围小于0-1ppm，atm 范围超出保证浓度范围 | ||
| 测量点数 | 1-8 | ||
| 样气条件 | 压力 | 10 -3～ 200 KPa（绝压） | |
| 流量 | 0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min（自然扩散状态的测量） | ||
| 湿度 | 露点低于环境温度 | ||
| 温度 | 0-100℃ | ||
| 其他 | 不得含有腐蚀性气体（氟系气体、氯系气体、硫系气体等）、含有机硅的气体、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。 | ||
| 比较气体 | 大气层 | ||
| 录音机输出 | 仅传输输出 | ||
| 传输输出 | RS-232C | ||
| 报警输出 | 没有任何 | ||
| 热身时间 | 6分钟内 | ||
| 尺寸 | MS-500（控制器） | 92 (W) x 44 (H) x 120 (D)（不包括突出部分） | |
| MS-510（转换器） | 100 (W) x 40 (H) x 88 (D)（不包括突出部分） | ||
| 传感器单元 | SD16NW | 全长100mm（感应部分Φ11×39，本体部分Φ40×51） | |
| SD25NW | 全长100mm（感应部分Φ11×42，本体部分Φ40×48） | ||
| SD40NW | 全长100mm（感应部分Φ11×41，本体部分Φ40×49） | ||
| 大量的 | MS-500（控制器） | 约0.6Kg | |
| MS-510（换能器） | 约0.5kg | ||
| 传感器单元 | SD16NW | 约0.2Kg | |
| SD25NW | 约0.2Kg | ||
| SD40NW | 约0.35Kg | ||
| 外部连接 | 真空法兰之一（NW16、25、40） | ||
| 使用的电源 | 24VDC ± 10% | ||
氧气计LC-450A、LC-450D
可以显示从测量的ppm 级到 100% 的广泛浓度范围。
提高传感器的耐用性
氧传感器经过特殊处理以提高其耐用性。交流宽电源 AC100-240VAC (LC-450A)
* LC-450D由24V DC驱动紧凑且易于安装
深度比热博rb88的传统型号更短，并且不占用太多空间。符合 RoHS 指令的产品
CE标志自我声明产品
EN61010-1：2002、EN61326：+A3：2003
LC-450A 设备规格
| 测量原理 | 氧化锆浓缩电池供电 | ||
|---|---|---|---|
| 形状 | 桌面型/面板安装型 | ||
| 显示方式 | 数字4位显示（浓度显示） | ||
| 测量范围 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自动量程 | ||
| 重复性 | ± 1% FS 0-1ppm内，atm范围超出保证浓度范围 | ||
| 抽样方法 | 内置泵连续吸入型 | ||
| 样气条件 | 压力 | 加压30KPa以下 | |
| 流量 | 1,000-2,000 毫升/分钟 | ||
| 湿度 | 露点低于环境温度 | ||
| 温度 | 0-50℃ | ||
| 其他 | 不得含有腐蚀性气体（氟系气体、氯系气体、硫系气体等）、含有机硅的气体、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。 | ||
| 比较气体 | 大气层 | ||
| 录音机 输出 | 氧气浓度输出 | 在 4-20mA 和 0-20mA 之间切换（可选 0-10V） 绝缘，负载电阻 550Ω 或更少 记录仪输出范围是满量程，线性输出到氧气浓度 | |
| 输出范围 | 0-100%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自动/固定量程 | ||
| 传输输出 | RS-232C | ||
| 报警输出 | FAIL（设备错误） | 1分 | 无电压接点，接点容量30VDC/AC以下，0.5A以下 因设备异常接点闭合（接点动作可变更） |
| ALM（浓度报警） | 2 分（高 / 升） | 非电压触点，触点容量30VDC / AC或更少，0.5A或更低 时产生警报（接触操作可改变）触点闭合 | |
| RDY（预热信号） | 1分 | 无电压接点，接点容量30VDC/AC以下，0.5A以下
| |
| MRK（范围标记）输出 | 2分 | 无电压接点，接点容量30VDC/AC以下，0.5A以下 | |
| 热身时间 | 5分钟内 | ||
| 尺寸 | 身体 | 210 (W) x 134 (H) x 300 (D) mm（不包括突出部分） | |
| 大量的 | 约6kg | ||
| 气体 连接口 | 进口 | RC1 / 4 | |
| 旁路输出 | RC1 / 4 | ||
| 出口 | RC1 / 4 | ||
| 使用的电源 | 100-240VAC, 50VA (稳定: 35VA) 50Hz / 60Hz | ||
LC-450D 设备规格
| 测量原理 | 氧化锆浓缩电池供电 | ||
|---|---|---|---|
| 形状 | 桌面型/面板安装型 | ||
| 显示方式 | 数字4位显示（浓度显示） | ||
| 测量范围 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自动量程 | ||
| 重复性 | ± 1% FS 0-1ppm内，atm范围超出保证浓度范围 | ||
| 抽样方法 | 内置泵连续吸入型 | ||
| 样气条件 | 压力 | 加压30KPa以下 | |
| 流量 | 1,000-2,000 毫升/分钟 | ||
| 湿度 | 露点低于环境温度 | ||
| 温度 | 0-50℃ | ||
| 其他 | 不得含有腐蚀性气体（氟系气体、氯系气体、硫系气体等）、含有机硅的气体、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。 | ||
| 比较气体 | 大气层 | ||
| 录音机 输出 | 氧气浓度输出 | 0-10VDC，绝缘，负载电阻600kΩ或多个 （可选：4-20mA的DC，绝缘，负载电阻550Ω或更小） 记录器输出范围是满量程和线性输出到氧浓度 | |
| 输出范围 | 0-100%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自动/固定量程 | ||
| 传输输出 | RS-232C | ||
| 报警输出 | FAIL（设备错误） | 1分 | 无电压接点，接点容量30VDC/AC以下，0.5A以下 因设备异常接点闭合（接点动作可变更） |
| ALM（浓度报警） | 2 分 (L / LL) | 非电压触点，触点容量30VDC / AC或更少，0.5A或更低 时产生警报（接触操作可改变）触点闭合 | |
| RDY（预热信号） | 1分 | 无电压接点，接点容量 30VDC/AC 以下，0.5A 以下 预热运行时接点闭合（接点动作可变更）
| |
| MRK（范围标记）输出 | 2分 | 无电压接点，接点容量30VDC/AC以下，0.5A以下 | |
| 热身时间 | 5分钟内 | ||
| 尺寸 | 身体 | 240 (W) x 134 (H) x 210 (D) mm（不包括突出部分） | |
| 大量的 | 约5公斤 | ||
| 气体 连接口 | 进口 | RC1 / 8 | |
| 旁路输出 | RC1 / 8 | ||
| 出口 | RC1 / 8 | ||
| 使用的电源 | 24VDC ± 10%, 1.25A (30VA, 稳态) | ||
氧气计LC-860
低浓度测量 可测量从
ppb级到100%操作简单
按键操作简单吹扫功能
比较 气体更稳定，测量精度更高（仅限带吹扫功能的规格）。高可靠性传感器 传感器
内部也可进行劣化防止处理（可选）
LC-860 设备规格
| 测量原理 | 氧化锆浓缩电池供电 | ||
|---|---|---|---|
| 形状 | 桌面型/面板安装型 | ||
| 显示方式 | 数字6位显示（浓度显示） | ||
| 测量范围 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自动/固定量程 | ||
| 重复性 | 氧浓度在±1%FS以内，小于1ppm和0-1ppm，atm范围在保证浓度范围之外 | ||
| 抽样方法 | 内置泵连续吸入型 | ||
| 样气条件 | 压力 | 加压30KPa以下 | |
| 流量 | ~ 1,500 毫升/分钟 | ||
| 湿度 | 露点低于环境温度 | ||
| 温度 | 0-50℃ | ||
| 其他 | 不得含有腐蚀性气体（氟系气体、氯系气体、硫系气体等）、含有机硅的气体、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。 | ||
| 比较气体 | 大气层 | ||
| 录音机 输出 | 氧气浓度输出 | 4-20mA / 0-10V 4-20mA : 绝缘，负载电阻 600Ω 或更小 0-10V: 绝缘，负载电阻 500Ω 或更大 记录仪输出范围是满量程，线性输出到氧浓度 | |
| 输出范围 | 0-100%, 0-10%, 0-1%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm, 0-1ppm, 10 -20 -10 -0 或自动/固定量程的任意4个量程 | ||
| 传输输出 | RS-232C | ||
| 报警输出 | FAIL（设备错误） | 1分 | 无电压接点，接点容量24VDC/AC以下，0.1A以下 因设备异常接点闭合（接点动作可变更） |
| ALM（浓度报警） | 2分 | 无电压接点，接点容量 24VDC/AC 以下，0.1A 以下 接点在发生警报时闭合（接点动作可变更） | |
| RDY（预热信号） | 1分 | 无电压接点，接点容量 24VDC/AC 以下，0.5A 以下 预热动作时接点闭合（接点动作可变更）
| |
| MRK（范围标记）输出 | 3分 | 无电压接点，接点容量24VDC/AC以下，0.1A以下 | |
| 热身时间 | 20分钟内 | ||
| 尺寸 | 身体 | 288 (W) x 144 (H) x 400 (D) mm（不包括突出部分） | |
| 大量的 | 约10公斤 | ||
| 气体 连接口 | 进口 | RC1 / 8 | |
| 旁路输出 | RC1 / 8 | ||
| 出口 | RC1 / 4 | ||
| 使用的电源 | 100-120VAC ± 10% 200VA 50Hz / 60Hz | ||
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