日本shinkuu等离子清洗装置介绍

多用途样品储存/等离子清洗装置 VE2030 特殊规格修改装置

它是一种与电子显微镜观察样品相关的多用途设备，具有三种功能。
使用涡轮分子泵 (TMP) 获得的清洁高真空作为主排气系统，( 1)
通过用射频激发等离子体照射和加热来清洁样品架。
(2) 金属和碳在高真空气氛中的真空沉积，以及 TEM 和 SEM 隔膜的热清洗。
(3)电子显微镜样品架和FIB装置样品架的真空储存。

它是一种特殊规格的设备，配备有排气系统序列控制、涡轮泵、隔膜泵和全量程真空计。

SEM样品储存装置

为了在真空下储存样品和 SEM 样品架，可以储存大量样品。
交换样品时，专用交换室允许装载和卸载样品，而不会将储存的样品暴露在大气中。

生产线

• 储存设备

• 　TVS-40T 独立四腔型

• 　TVS-10T腔体扩容机型

• 　SVS-100T SEM样品专用机型

• 溅射设备

• 　MSP-40T 多用途、多目标支持

• 　兼容 MSP-20TK 钨丝灯等

• 　MSP-20UM 通用型，全自动

• 　MSP-1S 标准型号

• 　MSP-mini φ30mm靶材，低价

• 　MSP-20MT φ100mm 通用型，全自动

• 　MSP-8in φ200mm ・ Pt 镀膜机

• 　MSP-12in φ300mm ・ Pt 镀膜机

• 锇涂层机

• 　HPC-20 全自动宽样台

• 　HPC-1SW 低价，宽样品架

• 　HPC 选项 提高功能和安全性

• 碳涂层机

• 　替换芯型碳 SLC-30

• 　VC-100S / 100W φ0.5mm 仅用于碳

• 多沉积设备

• 　VES-10碳飞溅/亲水处理

• 真空蒸镀设备

• 　VE-2030 许多选项/改造支持

• 　VE-2013 紧凑型台式，超高速真空排气

• 　VE-2012 紧凑型台式，超高速真空排气

• 　薄膜沉积设备选项

• 等离子处理设备

• 　PCU-30 样品去污

• 　PIB-20 宽样品台 亲水处理

• 　PIB-10 低成本亲水处理

• 叔丁基冻干装置

• 　VFD-30 全自动高性能机型

• 　VFD-21S 低价长销机型

• 速冻装置

• 　VFZ-101 冷冻分割工具组