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多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析技术
多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析技术
F20可以在1秒左右轻松测量透明或半透明薄膜的膜厚、折射率和消光系数。
它还支持多点在线测量，并支持RS-232C和TCP/IP等外部通信，因此可以从PLC或上位机控制。
主要特点
支持广泛的薄膜厚度（1 nm 至 250 μm）
支持宽波长范围（190nm 至 1700nm）
强大的膜厚分析
光学常数分析（折射率/消光系数）
紧凑型外壳
支持在线测量
主要用途
| 平板 | 单元间隙、聚酰亚胺、ITO、AR薄膜、 各种光学薄膜等 |
|---|---|
| 半导体 | 抗蚀剂、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等 |
| 光学镀膜 | 减反射膜、硬涂层等 |
| 薄膜太阳能电池 | CdTe、CIGS、非晶硅等 |
| 砷化铝镓（AlGaAs）、磷化镓（GaP）等 | |
| 医疗保健 | 钝化、药物涂层等 |
测量示例
可以测量从半导体等精密加工产品到眼镜和汽车零件的各种样品的膜厚。
多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析
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