技术文章
Profilm3D 3D表面形状测量系统的测量示例
Profilm3D 3D表面形状测量系统的测量示例
测量示例
粗糙度测量
测量硅衬底上的粗糙度。可以测量符合 ISO 的线粗糙度 (R) 和表面粗糙度 (S)。
不均匀形状的测量
测量铜基板上纳米级的不均匀性。可以一次测量1平方毫米区域内纳米级的不均匀形状。
镜片形状
测量镜片的形状。您可以高精度地观察所表达的形状。
步进测量
测量双焦镜片的水平差。
它是一个使用白光干涉技术的系统，可以非接触测量包括台阶和粗糙度在内的三维形状。
Profilm 3D 适用于测量小样本，涵盖了测量 3D 形状所需的所有功能，并且比传统产品更紧凑、更便宜。
多种测量模式，包括垂直扫描干涉法 (WLI)，适合微米级台阶和形状的高精度测量，相移干涉法 (PSI)，适合测量纳米级形状和粗糙度。包括标准步骤样品在内的一切都是标准设备，包括用于放大物镜、自动载物台以及便于操作和分析和管理测量数据的软件。
主要特点
低价！
在配备所有必要功能的同时实现低价纳米量级
的高分辨率 采用相移干涉法实现高分辨率全标准设备
XY自动载物台、手动左轮、自动光强调节、自动对焦功能紧凑型外壳
主体占地面积为 30 x 30 厘米的紧凑型设计。配备 WLI 和 PSI 两种测量模式
一个装置同时测量步距测量和粗糙度测量操作
简单 基本操作只需简单的鼠标操作根据 ISO 测量粗糙度 符合
国际标准 ISO25178扩展
性 多种物镜选择、数据拼接功能
主要用途
| 半导体 | 晶圆凸块、CMP焊盘等 |
|---|---|
| 医疗领域 | 注射针、人工关节、支架等 |
| 安装板 | 铜线、凸块、透镜等 |
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