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日本ATA涡轮多涂机 AT-901的特点及使用案例分析
日本ATA涡轮多涂机 AT-901的特点及使用案例分析
特征
可实现高倍率观察所需的Cr（粉末）飞溅。
特殊的快门功能可抑制对样品的热损伤。
排气泵内外无油污。
<选项>
碳涂层附件（选项）可形成碳膜
等离子清洗（主机选项）可去除有机异物和表面演化处理。
规格
| 溅射 法 | 直流磁控溅射 放电电压：DC 1500V max 放电电流：DC 50mA max |
| 目标（单独出售） | 有多种靶材可供选择，例如 Cr、Pt、Au、Au-Pd |
| 使用的气体 | 空气，氩 |
| 达到真空压力 | 十 |
| 腔室尺寸 | φ100mm |
| 样品架 | φ50毫米 |
| 真空排气 | 主排气：涡轮微型泵（内置于主体） 辅助排气：隔膜泵（外置） |
| 尺寸 | 主机 360W x 417D x 380H |
| 重量 | 机身约 20kg 隔膜泵 4kg |
| 电源供应 | AC 100V / 200V（工厂选择） 5A 15A（碳编码附件单独出售） |
涂层示例
◆ 不平整样品的图像（滤纸表面）（SEM图像）
放大倍率 x 5,000 倍
放大倍率 x 5,000 倍
载玻片涂层样品
◆ 涂膜颗粒度差异示例（AFM 图像）
◆ 碳薄膜的TEM观察图像
在玻璃基板上蒸镀碳，观察因真空度的不同而产生的蒸镀状态的差异（TEM图像）。
至于碳气相沉积的状态，可以看出在0.02Pa气氛中的颗粒比在2Pa气氛中更细。
（放大倍数为 200,000 倍）
真空度 = 2Pa（热博rb88的较低型号）
真空度=0.02Pa（本装置）
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