实验用磁控溅射MSP-MINI的特点

本设备是一种带磁控靶的金属镀膜设备。当用光学显微镜（Ag 靶）观察透明材料的表面或用电子显微镜（Au/Ag 靶）在少量样品上涂导电膜时使用。

一键自动镀膜。没有麻烦的操作。高性价比机器。它是MSP-1S的弟弟。
使用小目标（φ30mm）。实现低运行成本。Au 靶作为标准包含在内。展示其在桌面 SEM 预处理方面的能力。
可选的目标Ag膜具有优异的光泽度，便于透明材料表面的光学显微镜观察。

●用一个按钮自动涂层。没有任何繁琐的操作。

●去除所有赘肉的高性价比机。我是MSP-1S的弟弟。

●小型目标（φ30mm）。实现低运行成本。

●标准附带Au靶。在桌上SEM的预处理中发挥实力。

●可选靶Ag膜光泽优良，透明材料表面的光学显微镜观察使揣测变得容易。

产品特点

★MSP-mini是桌上SEM观察·光学显微镜用离子溅射成膜装置。

★为了将小面积的试样涂布时的浪费最小化，小面积靶（φ30mm）。

★样品台是直接放置滑动玻璃的平面样品台。

★低电压涂层，即使是敏感的样品也几乎没有样品损伤。

★用1个按钮全自动进行排气、涂层、泄漏。

★目标金属是金（Au）标准。可选的银。

★排气系统采用外置RP5升/min。

★使用辅助试料台（可选），可提高涂布率，提高效率可以成膜。