日本易威奇iwaki适用于各类供药系统气泵FS-N 系列
高速冲程
高速冲程 (FS-80Ngao达200 spm),让结构紧凑、重量轻、成本低,可同时用于高流量及高压力工况。
无污染设计
过流端采用氟树脂无污染构造,使用*的轴封显著降低颗粒的产生。
高流量及高吐出压力
大吐出量高达0.7MPa,不仅满足化学供药过程中高流量及高吐出压力的需求,同时适用于清洗及CMP制程。
传感器驱动系统
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此,即使连接各种控制器,亦可以轻易控制吐出量。
日本易威奇iwaki适用于各类供药系统气泵FS-N 系列
规格
大吐出量 | 100 L/min | ||||||||||||
大吐出压力 | 0.7 MPa | ||||||||||||
大耗气量 | 1495 NL/min | ||||||||||||
大冲程率 | 100 spm | ||||||||||||
主要材质 | PTFE, PFA | ||||||||||||
液体输送温度范围 | 5 ~ 60 °C 高速冲程 高速冲程 (FS-80Ngao达200 spm),让结构紧凑、重量轻、成本低,可同时用于高流量及高压力工况。 无污染设计 过流端采用氟树脂无污染构造,使用*的轴封显著降低颗粒的产生。
高流量及高吐出压力 传感器驱动系统 内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此,即使连接各种控制器,亦可以轻易控制吐出量。 规格
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