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产品资料

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日本shibaura扩散油真空泵ESV系列（小型）

产品名称: 日本shibaura扩散油真空泵ESV系列（小型）

产品型号:

产品特点: 日本shibaura扩散油真空泵ESV系列（小型）
ESV系列的功能
该系列采用ESV-6或以下的环形加热器和ESV-8或以上的内部热式护套加热器，以从超高真空区域到高/中/真空区域获得稳定的压力。防止因撞油而引起的压力波动。
ESV系列由于提高了加热油的热效率（与热博rb88公司相比），因此具有运行时间短，排量大和临界背压高的优点。它还需要较少的液压油。

日本shibaura扩散油真空泵ESV系列（小型） 的详细介绍

日本shibaura扩散油真空泵ESV系列（小型）

使用例

各种真空炉
各种实验的排气装置
管材制造设备
各种成膜设备
电子束焊接
电子显微镜

ESV系列阵容

模型		单元	ESV-3	ESV-4	ESV-6
大抽速		升/秒	380	580	1,200
极限压力		帕	10 ^-6	10 ^-6	10 ^-6
工作压力范围		帕	10 ^-6〜3.3 ×10 ^-1	10 ^-6〜3.3 ×10 ^-1	10 ^-6〜0.4
临界背压		帕	40	40	40
大排量		帕升/秒	93	190	260
用油			高腰F-4	高腰F-4	高腰F-4
油量		大号	0.12	0.18	0.3
垫片			维通	维通	维通
加热器	格式		云母带	云母带	云母带
	电压，相	ACV，相	200，1	200，1	200，1
	格式	千瓦	0.55	0.75	1.2
录取			VG80	VG100	VG150
辅助口			VG25	VG25	VG50
冷却方式			水冷	水冷	水冷
冷却水量		L / min，在25℃时	1.1	1.5	2
辅助泵			DRP-360Ⅲ或RP-360Z	DRP-800或RP-800ZⅡ	DRP-800或RP-800ZⅡ
挡板格式			3C（雪佛龙）	4C（雪佛龙）	6C（雪佛龙）
带挡板的抽速		升/秒	165	240	450
挡板冷却水量		L / min，在25℃时	1.1	1.5	2
机油倒流率		cm ³ / cm ²分钟	10 ^-8	10 ^-8	10 ^-8
材料	圆筒		不锈	不锈	不锈
材料	喷射		铁（镀镍）	铁（镀镍）	铁（镀镍）
大众		公斤	8.5	11	20

模型		单元	ESV-8	ESV-10	ESV-12
大抽速		升/秒	2,000	3,000	4,500
极限压力		帕	10 ^-6	10 ^-6	10 ^-6
工作压力范围		帕	10 ^-6〜3.3 ×10 ^-1	10 ^-6〜3.3 ×10 ^-1	10 ^-5〜0.4
临界背压		帕	46	40	37
大排量		帕升/秒	400	460	800
用油			高腰F-4	高腰F-4	狮子A
油量		大号	0.6	1个	1个
垫片			维通	维通	氯丁橡胶
加热器	格式		种子	种子	种子
	电压，相	ACV，相	200，1	200、3	200、3
	格式	千瓦	1.6	2.5	3.2
录取			VG200	VG250	VG300
辅助口			VG50	VG50	VG80
冷却方式			水冷	水冷	水冷
冷却水量		L / min，在25℃时	2.5	五	6
辅助泵			DRP-1500或RP-1200ZⅡ	DRP-1500或RP-1200ZⅡ	RP-1200ZII x 2
挡板格式			8C（雪佛龙）	10C（雪佛龙）	12C（雪佛龙）
带挡板的抽速		升/秒	800	1,200	1,800
挡板冷却水量		L / min，在25℃时	2.5	五	6
机油倒流率		cm ³ / cm ²分钟	10 ^-8	10 ^-8	10 ^-7
材料	圆筒		不锈	不锈	铁（镀镍）
材料	喷射		铁（镀镍）	铁（镀镍）	铁（镀镍）
大众		公斤	二十五	45	55

[ESV-3]
带挡板和油
[ESV-4]
带挡板和油

[ESV-6]
带挡板和油
[ESV-8]
带挡板和油

[ESV-10]
带挡板和油
[ESV-12]（定做）
带挡板和油

*规格和建议零售价如有变更，恕不另行通知。

预防措施

热博rb88的油旋转真空泵是根据以下用途设计和制造的。
（1）进气类型空气和惰性气体（N ₂，CO ₂，He，Ne，Ar，Xe，Rn ...）
（2）进气温度5-40 ℃
（3）环境温度5- 40°C
（4）常压10 ^-6至0.4Pa
*如果与上述用法不同，请与热博rb88联系，因为这可能会导致泵故障。
排出腐蚀性气体（Cl ₂，CCl ₄，CF ₄，BBr ₄，HBr等）时，可能会发生油质劣化或未达到极限压力的零件腐蚀，从而延长泵的使用寿命请注意，将会缩短。
本目录中的性能表会根据热博rb88的测试标准进行测量测试和检查。
因此，它与设备内置的性能值不同。
ESV-12或更高版本的油扩散真空泵涂有耐热银粉。
扩散油当
使用标准扩散油以外的扩散油时，扩散油的
比热可能会不同，因此可能无法发挥出油扩散真空泵的原始性能。
泵冷却将
油扩散真空泵的冷却水温度作为参考，在5至25°C的范围内。
如果冷却水的温度过高，将无法有效地冷却以蒸汽喷射方式喷射到泵内壁的机油，这会影响泵的性能，例如增加机油的反向流量。
另外，为了保证冷却水的质量，请使用制量醉高的水。
如果使用水质较差的水，则泵冷却导管的内部将被堵塞，并且异常高的温度将引起诸如泵性能差和冷却导管焊接不冷却之类的问题。
作为一种措施，当冷却管内部发生堵塞，且冷却水不流动时，请使用市售的管道清洁剂等，并清除内部堵塞。
如果上述措施仍不能解决问题，则需要更换冷却导管，请与热博rb88联系。
*在寒冷地区使用后请除去水。它可能会冻结并损坏。
*如果还有其他疑问，请与热博rb88联系。

日本shibaura扩散油真空泵ESV系列（小型）

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