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产品资料

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日本shibaura油扩散真空泵 ESV系列

产品名称: 日本shibaura油扩散真空泵 ESV系列

产品型号:

产品特点: 日本shibaura油扩散真空泵 ESV系列
ESV系列的功能
该系列采用内部加热型护套加热器，可从超高真空区域到高，中和真空区域获得稳定的压力，并防止由于油在超高真空下撞击而引起的压力波动。
ESV系列由于提高了加热油的热效率（与热博rb88公司相比），因此具有运行时间短，排量大和临界背压高的优点。它还需要较少的液压油。

日本shibaura油扩散真空泵 ESV系列 的详细介绍

日本shibaura油扩散真空泵 ESV系列

使用例

各种真空炉
各种实验的排气装置
各种成膜设备
电子束焊接

ESV系列阵容

模型		单元	ESV-161	ESV-221S	ESV-241
大抽速		升/秒	7,500	13,500	20,000
极限压力		帕	10 ^-5	10 ^-5	10 ^-5
工作压力范围		帕	10 ^-5〜0.4	10 ^-5〜0.4	10 ^-5〜0.4
临界背压		帕	33	35	33
大排量		帕升/秒	1,130	1,680	1,460
用油			狮子A	狮子A	狮子A
油量		大号	2	3	五
垫片			氯丁橡胶	氯丁橡胶	氯丁橡胶
加热器	格式		种子	种子	种子
	电压，相	ACV，相	200、3	200、3	200、3
	格式	千瓦	5.5	7.5	9.0
录取			VG400	VG550	VG600
辅助口			VG100	VG150	VG150
冷却方式			水冷	水冷	水冷
冷却水量		L / min，在25℃时	11	15	15
辅助泵			KP-4500BG	KP-7500BG	KP-7500BG
挡板格式			16C（雪佛龙）	22L（百叶窗）	24L（百叶窗）
带挡板的抽速		升/秒	3,000	6,500	8,000
挡板冷却水量		L / min，在25℃时	11	3	3
机油倒流率		cm ³ / cm ²分钟	10 ^-7	10 ^-7	10 ^-7
材料	圆筒		铁（镀镍）	铁（镀镍）	铁（镀镍）
材料	喷射		铁（镀镍）	铁（镀镍）	铁（镀镍）
大众		公斤	160	250	350

模型		单元	ESV-24S	ESV-281S	ESV-361S
大抽速		升/秒	19,000	23,000	39,000
极限压力		帕	10 ^-5	10 ^-5	10 ^-5
工作压力范围		帕	10 ^-5〜0.4	10 ^-5〜0.4	10 ^-5〜0.4
临界背压		帕	30	30	40
大排量		帕升/秒	1,300	2,500	2,800
用油			狮子A	狮子A	狮子A
油量		大号	五	五	9
垫片			氯丁橡胶	氯丁橡胶	氯丁橡胶
加热器	格式		种子	种子	种子
	电压，相	ACV，相	200、3	200、3	200、3
	格式	千瓦	9.0	12	15.6
录取			VG600	VG700	VG900
辅助口			VG150	VG200	VG200
冷却方式			水冷	水冷	水冷
冷却水量		L / min，在25℃时	15	15	15
辅助泵			KP-7500BG	TMB-1500 + KP-4500BG	TMB-2500 + KP-7500BG
挡板格式			24L（百叶窗）	28L（百叶窗）	28L（百叶窗）
带挡板的抽速		升/秒	10,500	120,000	22,000
挡板冷却水量		L / min，在25℃时	3	3	3
机油倒流率		cm ³ / cm ²分钟	10 ^-8	10 ^-7	10 ^-7
材料	圆筒		铁（镀镍）	铁（镀镍）	铁（镀镍）
材料	喷射		铁（镀镍）	铁（镀镍）	铁（镀镍）
大众		公斤	200	400	830

[ESV-161]（定做）
带挡板和油
[ESV-221S]（定做）
带挡板和油

[ESV-241]（定做）
带挡板和油
[ESV-24S]（定做）
带挡板和油

[ESV-281S]（定做）
带挡板和油
[ESV-361S]（定做）
带挡板和油

*规格和建议零售价如有变更，恕不另行通知。

预防措施

热博rb88的油旋转真空泵是根据以下用途设计和制造的。
（1）进气类型空气和惰性气体（N ₂，CO ₂，He，Ne，Ar，Xe，Rn ...）
（2）进气温度5-40 ℃
（3）环境温度5- 40℃
（4）常压10 ^-6至0.4Pa
*如果上述操作条件不同，请联系热博rb88。
在排出腐蚀性气体（Cl ₂，CCl ₄，CF ₄，BBr ₄，HBr等）时，可能会发生油质劣化和未达到极限压力的零件腐蚀，从而延长泵体的使用寿命。请注意，将会缩短。
24英寸或更大的大型扩散真空泵对应于《外汇和对外贸易法》规定的物质（或服务），因此需要基于该法律的出口许可证。出口时请咨询。
本目录中的性能表会根据热博rb88的测试标准进行测量测试和检查。
因此，它与设备内置的性能值不同。
油扩散真空泵上涂有耐热银粉。
扩散油当
使用标准扩散油以外的扩散油时，扩散油的
比热可能会不同，因此可能无法发挥出油扩散真空泵的原始性能。
泵冷却将
油扩散真空泵的冷却水温度作为参考，在5至25°C的范围内。
如果冷却水的温度过高，将无法有效地冷却以蒸汽喷射方式喷射到泵内壁的机油，这会影响泵的性能，例如增加机油的反向流量。
另外，为了保证冷却水的质量，请使用制量醉高的水。
如果使用水质较差的水，则泵冷却导管的内部将被堵塞，并且异常高的温度将引起诸如泵性能差和冷却导管焊接不冷却之类的问题。
作为一种措施，当冷却管内部发生堵塞，且冷却水不流动时，请使用市售的管道清洁剂等，并清除内部堵塞。
如果上述措施仍不能解决问题，则需要更换冷却导管，请与热博rb88联系。
*在寒冷地区使用后，请除去冷却水。它可能会冻结并损坏。
*如果还有其他疑问，请与热博rb88联系。

日本shibaura油扩散真空泵 ESV系列

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