日本napson非接触式薄层电阻多点测量器

• 由于它是一种非接触式涡流方法，因此可以进行测量而不会损坏它。
• 可编程测量模式和2-D / 3-D映射软件
• *选项：安装了额外的晶圆厚度测量探针

测量规格

测量目标

半导体/太阳能电池材料相关（硅，多晶硅，SiC等）
 新材料/功能材料相关（碳纳米管，DLC，石墨烯，银纳米线等）
 导电薄膜相关（金属，ITO等）
 硅基外延，离子与
 半导体相关的注入样品化合物（GaAs Epi，GaN Epi，InP，Ga等）
 其他（*请与热博rb88联系）

测量尺寸

2-8英寸
（可选； 12英寸）

测量范围

[电阻] 1m至200Ω・ cm 
（*所有探头类型的总量程/厚度500um）
[抗剪强度] 10m至3kΩ / sq 
（*所有探头类型的总量程）

*有关每种探头类型的测量范围，请参阅以下内容。

（1）低：0.01至0.5Ω/□（0.001至
0.05Ω- cm）（2）中：0.5至10Ω/□（0.05至0.5Ω-cm）
（3 ））高：10至1000Ω/□（0.5至60Ω-​​cm）
（4）S-高：1000至3000Ω/□（60至200Ω-cm）

映射图像

与超高电阻范围兼容的非接触式（电晕放电法）薄层电阻测量系统

商品名称：CRN-100

产品图片（可根据客户要求进行各种定制）

产品特点

• 超高电阻范围：以非接触方式测量10E + 9至10E + 15Ω/□
• 平面多点测量功能
• 2D / 3D映射图像显示
• Windows 7软件
• 测量数据可以CSV文件格式输出
• 由于是非接触型，因此可以不受接触电阻的影响进行测量。

测量规格

测量目标

*通常，可以测量本设备测量范围内的任何样品。请联系热博rb88。

・超高电阻薄膜样品（a-Si，IGZO等）

・半导体材料接近绝缘

・导电橡胶

这样

测量尺寸

尺寸：大300 x 400毫米

厚度：大2毫米

*热博rb88可以自定义您的要求，例如尺寸支持。请联系热博rb88。

测量范围

10E + 9〜10E + 15Ω/□

传单

*单击下面的按钮下载该产品的传单。

映射图像

产品信息

• 接触电阻测量仪
• 非接触电阻测量
  • 手动型（1点测量系统）
  • 半自动类型（多点测量系统[包括软件+ PC]）
  • 全自动型（全自动测量系统）
  • 串联型（嵌入式测量模块）
• 寿命测量
• PN判断
• 传播阻力
• 4探头探头
• 平面度/厚度测量
• 电阻参考晶圆
• 线性刻度
• 膜厚测量系统（非接触式，光学式）

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  技术介绍

  Napson电阻测量有两种类型：接触型和非接触型。热博rb88将介绍每种测量方法。

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  海外网络

  介绍Napson的海外网络。热博rb88还为在海外工厂的交付和安装提供全面的支持。

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  售后服务

  热博rb88加强了售后服务，因此即使在接触式交付后也可以稳定地使用热博rb88的产品。

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