产品资料
日本shibaura芝浦机电皮拉尼真空计仪表
产品名称: 日本shibaura芝浦机电皮拉尼真空计仪表
产品型号: GPW
产品特点: 日本shibaura芝浦机电皮拉尼真空计仪表该产品是一种皮拉尼真空计，可以测量从大气压到5 x 10 -2 Pa的很大范围。此外，该真空计消除了传统控制器的操作和显示，并缩小到小的必要功能，从而实现了“成本降低"和“节省空间"。
日本shibaura芝浦机电皮拉尼真空计仪表 的详细介绍
日本shibaura芝浦机电皮拉尼真空计仪表
GPW系列的特点
- 广域测量：可以从大气压到5×10 -2 Pa进行广域测量
- 节省布线：通过集成传感器和控制器实现节省布线，节省空间和节电。
- 视野更佳：配备了可以检查异常的LED
- 一键式调节：一键式大气压调节和零点调节
- 可维护性：易于更换测针
- 灯丝材料-铂（Pt）：灯丝材料使用具有优异耐腐蚀性的铂。
- 测量值输出信号：压力为0至10V的对数输出是标准设备
- 改善的抗冲击性：具有出色抗冲击性的设计结构
- 控制输出信号：可以输出2个设定点（GPW-1）
- 串行通讯规格：可以进行RS-232C / RS-485通讯（仅GPW-2）
- 符合标准：符合CE标准
用
- 用于各种制造设备（例如太阳能电池，FPD，半导体和电子零件）的低真空区域中的过程控制
- 用于各种工业设备（例如熔炉）的低真空区域中的过程控制
- 用于在具有许多处理腔室的各种制造设备的低真空区域中进行过程控制，例如在线型和单晶片型
规范
| 模型 | GPW-1 | GPW-2 | |
|---|---|---|---|
| 可连接的手写笔 | 一 | ||
| 自适应手写笔 | SWP-16（NW-16） | ||
| 测量压力范围 | 5.0 x 10 -2至1.0 x 10 5 Pa | ||
| 测量精度* | 1×10 -1〜1 ××10 4 Pa：±10％ 5.0×10 -2〜1.0 ×10 -1 Pa，1×10 4 Pa〜1×10 5 Pa：±20％ | ||
| 重复性 | 1×10 -1 Pa〜1×10 4 Pa：±2％ | ||
| 采样时间 | 50毫秒5次移动平均处理 | ||
| 测量值输出 | 输出电压DC 0-10 V | ||
| 压力指示（对数输出）1.7 V至8.0 V，1 V /位 | |||
| 更新时间 | 50毫秒 | ||
| 控制输入信号 | 集电极开路输入，负逻辑 ADJ调整（零点调整，大气压调整） | --- | |
| 控制输出信号 | 集电极开路输出 负逻辑[额定值：30 VMAX，50 mAMAX，70 mW] 错误信号 设定点1、2 | --- | |
| 监控设定值 | 设定点1，2：0至10 V日志输出 | --- | |
| 串行通讯规格 | --- | RS232C / RS485 | |
| LED显示屏 | 电源/错误：电源，错误指示灯 | ||
| SET-1：设定点1 LED SET-2：设定点2 LED | --- | ||
| 灯丝材料 | 铂 | ||
| 工作温度极限 | 10-40℃ | ||
| 工作湿度范围 | 15-80％（但是，不结露） | ||
| IP防护等级 | IP30（传感器单元） | ||
| 安装姿势 | 没有限制 | ||
| 电源电压 | DC 18 V至30 V，2 W（电源打开时为4.8 W） | ||
| 输入/输出连接器 | D-sub15针（M2.6螺钉） | ||
| 大众 | 150克（含SWP-16） | ||
| 外形尺寸（电源）W xD x H（mm） | 70 x 46 x 28 | ||
| 符合标准 | CE认证 | ||
*大气压调整和零点调整后的精度。
外形尺寸
单位：mm
*规格或建议零售价如有变更，恕不另行通知。
日本shibaura芝浦机电皮拉尼真空计仪表
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