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日本shibaura芝浦机电皮拉尼真空计多离子规

产品名称: 日本shibaura芝浦机电皮拉尼真空计多离子规
产品型号: GMi系列
产品特点: 日本shibaura芝浦机电皮拉尼真空计多离子规
该产品是一种换能器型多离子量规,可以将测针连接到不同的测量范围。

日本shibaura芝浦机电皮拉尼真空计多离子规 的详细介绍

日本shibaura芝浦机电皮拉尼真空计多离子规

 

在将常规方法的多种原理组合到一个外壳中的复杂真空计中,“单个手写笔需要*更换手写笔”,“手写笔很复杂且容易出现故障”和“手写笔”我经常听到客户的反馈,例如“昂贵”。
这种方法可以进行宽带测量,显着降低运行成本,并支持低环境负荷。

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GMi系列的特点

  • 广域测量可以测量
    从大气压到高真空区域(10 5至5 x 10 -8 Pa)(当同时使用GPM和GAM时)
  • 可以连接不同测量范围的放大镜
    通过采用多离子规,可以根据应用选择测针
  • 准确的大气压测量可以
    轻松,准确地确认大气压(使用GAM时)
  • 支持低环境负荷由于
    只能根据需要更换触控笔,因此可以降低运行成本。

  • 配备可检查异常情况的LED,以提高可见度

  • 易于更换可维护的手写笔
  • 每种模式规格(组合模式)
    GMi + GPM(离子计+吡喃计)
    GMi + GPM + GAM(离子计+吡拉尼计+大气压传感器)
  • 测量值输出信号
    压力为0至10V输出(对数输出)
  • 控制输出信号可以进行
    3点设定值输出(GMi-1)
  • 可以进行串行通讯规格
    RS232C / RS485通讯(GMi-2)
  • 符合标准
    CE标准对应

  • 用于各种制造设备(例如太阳能电池,FPD,半导体和电子零件)的高真空区域中的过程控制
  • 通过串联型和单晶圆型等多个处理室,确认各种制造设备的高真空区域的极限压力
  • 高真空/超高真空设备的压力测量

规范

模型GMi-1GMi-2
规范标准规格串行通讯规格
自适应多离子量规传感器M34(NW16),M35(NW25)
可连接的传感器多离子压力表传感器:1
皮拉尼压力表GPM:1(可选)
大气压传感器GAM:1(可选)
采样时间70毫秒4倍移动平均处理
测量值输出输出电压DC 0至10 V,对数输出0.75 V / 1位
压力转换公式V = 7.25 + 0.75×(Log P -2)P = 10 ^ {(V --7.25)/ 0.75 + 2} 
*用于设定点调整还用作(仅限GMi-1)的输出电源
更新时间50毫秒
控制输入​​信号FIL ON / OFF,FIL 1/2,DEGAS ON / OFF以
集电极开路输入,负逻辑运行

*根据模式的不同,FIL ON / OFF信号的用法也不同。

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控制输出信号传感器错误,设定点1/2/3
发射有效
灯丝功率监控
额定值:24 VMAX,50 mAMAX,
饱和电压1 V
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串行通讯规格---RS232C / RS485
LED显示屏电源/错误:电源,错误指示灯(闪烁状态根据每种模式而变化)
FIL:发射有效的指示灯
SET1:设定点1 LED 
SET2:
设定点2 LED SET3:设定点3 LED
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发射电流1 mA(1 x 10 -3 Pa或更小),10 µA
德加斯电子减震方法(电子轰击)1 mA,330 V
传感器耐压2 x 10 5 Pa(压力)*法兰和夹具的承受压力需要单独考虑。
传感器内部容积34厘米3(M34)
工作温度极限10-50℃
工作湿度范围15-80%(但是,不结露)
储存温度-20至65°C(不通电时不结露)
IP防护等级IP30
电源电压DC 20-28 V(纹波,噪声1%或更低)19 W或更低(电源打开时为156 W)
输入/输出连接器D-sub 15针(M2.6螺丝)
大众控制器:约530 g,BA手写笔(M34):63 g
外形尺寸W xD x H(mm)144 x 75 x 62以下(控制器部分)
符合标准CE认证
选项电源/错误:多离子计传感器M34(NW16),M35(NW25)
材质:长丝1 lr / Y 2 O 3涂层,长丝2 W(钨)
其他Pt C Mo,SUS,W
皮拉尼规SPU
皮拉尼仪表传感器WP-16(NW16)
材质:细丝铂,其他BS / Ni,电镀,镍,焊料
大气压传感器GAM(NW16)材质:SUS316L
单元电缆GPM为0.5毫米
GAM为0.5毫米
显示单位1 CH:ISG1型(使用DC 24 V电源)
4 CH:IM1R1型(使用DC 24 V电源)
            IM2R1型(使用AC 100 V电源)
显示电缆GMi和显示单元之间的电缆
2 m,5 m,10 m,15 m

每种模式规格

GMi-1 / GMi-2可以从三种使用类型中选择:多离子表单模,带吡拉尼表的组合模式以及带吡拉尼表和大气压传感器的三重组合模式。

模式GMi-1 / GMi-2
独立模式
GMi-1 / GMi-2 + GPM
组合模式
GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM
组合模式
测量压力范围5×10 -8〜1 ×10 15×10 -8〜1 ×10 45×10 -8〜1 ×10 5
测量精度5×10 -8至1×10 1 Pa±15%5×10 -8〜1×10 3帕:±15%
1×10 3〜3.0×10 3帕:±30%
3.0×10 3〜1.0×10 4帕:没有精度保证
5×10 -8〜1×10 3帕:±15%
1×10 3〜3.0×10 3帕:±30%
3.0×10 3 〜1.0×10 4帕:没有精度保证
1.0×10 4〜1.0× 10 5 Pa:±3%FS 
(3 x 10 3 Pa,参考温度25°C)
重复精度1 x 10 -6至1 x 10 -1 Pa:Pa±2%
接线图(示例)GMi-1 / GMi-2 <单模式GMi-1 / GMi-2 + GPM组合模式GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM组合模式

外形尺寸

测针的尺寸图

单位:mm 
*规格或建议零售价如有变更,恕不另行通知。

日本shibaura芝浦机电皮拉尼真空计多离子规

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