产品资料
日本napson平板电阻薄层电阻测量半自动装置
产品名称: 日本napson平板电阻薄层电阻测量半自动装置
产品型号: RG-100PV
产品特点: 日本napson平板电阻薄层电阻测量半自动装置玻璃基板上薄膜的四探针法半自动测量仪XY轴机构台平面内多点测量配备了均匀螺距或随机螺距设置选择以及2-D / 3-D映射软件。
日本napson平板电阻薄层电阻测量半自动装置 的详细介绍
日本napson平板电阻薄层电阻测量半自动装置
测量规格
测量目标
- 与半导体/太阳能电池相关的材料（硅，多晶硅，SiC等）
- 新材料/功能材料（碳纳米管，DLC，石墨烯，银纳米线等）
- 导电薄膜相关（金属，ITO等）
- 扩散样品硅基薄膜（LTPS等），IGZO
- 硅基外延离子注入样品
- 与化合物半导体有关的（GaAs，Epi，GaN，Epi，InP，Ga等）
- 其他（*请与热博rb88联系）
测量尺寸
大300 x 300毫米（选件;大500 x 500毫米）
测量范围
[电阻（比电阻）] 1m至200Ω·cm
[片电阻] 1m至1,000kΩ/ sq（选件；〜10MΩ/ sq）
测量规格
测量目标
- 与半导体/太阳能电池相关的材料（硅，多晶硅，SiC等）
- 新材料/功能材料（碳纳米管，DLC，石墨烯，银纳米线等）
- 导电薄膜相关（金属，ITO等）
- 扩散样品硅基薄膜（LTPS等），IGZO
- 硅基外延离子注入样品
- 与化合物半导体有关的（GaAs，Epi，GaN，Epi，InP，Ga等）
- 其他（*请与热博rb88联系）
测量尺寸
大300 x 300毫米（选件;大500 x 500毫米）
测量范围
[电阻（比电阻）] 1m至200Ω·cm
[片电阻] 1m至1,000kΩ/ sq（选件；〜10MΩ/ sq）
映射图像
![半自动类型<br />（多点测量系统[包括软件+ PC]）](http://www.napson.co.jp/wp/wp-content/uploads/2014/08/2D%E8%A7%92%E5%9E%8B%E3%83%9E%E3%83%83%E3%83%94%E3%83%B3%E3%82%B02.jpg)
![半自动类型<br />（多点测量系统[包括软件+ PC]）](http://www.napson.co.jp/wp/wp-content/uploads/2014/08/3D%E8%A7%92%E5%9E%8B%E3%83%9E%E3%83%83%E3%83%94%E3%83%B3%E3%82%B02-640x561.jpg)
日本napson平板电阻薄层电阻测量半自动装置
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