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日本napson高规半自动四探针薄层电阻测量仪

产品名称: 日本napson高规半自动四探针薄层电阻测量仪
产品型号: RT-3000 / RG-2000
产品特点: 日本napson高规半自动四探针薄层电阻测量仪
具有拳球醉佳电阻测量范围的4探针法测量仪
测量模式可编程和圆形/方形测量兼容的绘图软件
自检功能,厚度/外围位置/温度补偿功能(用于硅)
根据电阻范围从两种类型的测试仪中选择
(RT-3000(S):宽范围的测量范围,RT-3000(H):高阻的测量范围)

日本napson高规半自动四探针薄层电阻测量仪 的详细介绍

日本napson高规半自动四探针薄层电阻测量仪

 

测量规格

测量目标

  • 与半导体/太阳能电池相关的材料(硅,多晶硅,SiC等)
  • 新材料/功能材料(碳纳米管,DLC,石墨烯,银纳米线等)
  • 导电薄膜相关(金属,ITO等)
  • 扩散样本
  • 硅基薄膜(LTPS等),IGZO
  • 硅基外延离子注入样品
  • 其他(*请与热博rb88联系)

测量尺寸

〜8英寸,或〜156x156mm 

-选项(兼容大直径尺寸:RG-3000型):〜12英寸,〜210 x 210毫米

 

测量范围

①RT-3000(S);
[电阻(比电阻)]100μ至1MΩ·cm 
[片材电阻] 1m至10MΩ/ 
sq②RT-3000(H); 
[片材电阻] 10m至1GΩ/ sq

测量规格

测量目标

  • 与半导体/太阳能电池相关的材料(硅,多晶硅,SiC等)
  • 新材料/功能材料(碳纳米管,DLC,石墨烯,银纳米线等)
  • 导电薄膜相关(金属,ITO等)
  • 扩散样本
  • 硅基薄膜(LTPS等),IGZO
  • 硅基外延离子注入样品
  • 其他(*请与热博rb88联系)

测量尺寸

〜8英寸,或〜156x156mm 

-选项(兼容大直径尺寸:RG-3000型):〜12英寸,〜210 x 210毫米

 

测量范围

①RT-3000(S);
[电阻(比电阻)]100μ至1MΩ·cm 
[片材电阻] 1m至10MΩ/ 
sq②RT-3000(H); 
[片材电阻] 10m至1GΩ/ sq

映射图像

  • 半自动类型<br />(多点测量系统[包括软件+ PC])
  • 半自动类型<br />(多点测量系统[包括软件+ PC])
  • 半自动类型<br />(多点测量系统[包括软件+ PC])
  • 半自动类型<br />(多点测量系统[包括软件+ PC])

 日本napson高规半自动四探针薄层电阻测量仪

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